Verfügbarkeit: Passivierung von Halbleiter-Leistungsbauelementen durch thermische Oxidation

Passivierung von Halbleiter-Leistungsbauelementen durch thermische Oxidation:

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1979
Schriftenreihe:	Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 79,1 - 79,48
Schlagworte:	Stickstoffverbindungen Siliciumverbindungen Leistungshalbleiter Aluminiumoxide Thermische Oxidation Passivierung
Beschreibung:	76 S. 46 graph. Darst.

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