Tantal-Aluminium-Dünnschichttechnologie für eine neue IMS-Generation-Mikrowellen-Schichtschaltungen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1980
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 80,1 - 80,15
Schlagworte:
Beschreibung:127 S. 59 graph. Darst.

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