APA (7th ed.) Citation

Schneider, C. (1993). Entwicklung eines in-situ-Meß- und Regelsystems für Halbleiterfertigungsprozesse am Beispiel der thermischen Oxidation von Silizium. Shaker.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Schneider, Claus. Entwicklung Eines In-situ-Meß- Und Regelsystems Für Halbleiterfertigungsprozesse Am Beispiel Der Thermischen Oxidation Von Silizium. Aachen: Shaker, 1993.

MLA (9th ed.) Citation

Schneider, Claus. Entwicklung Eines In-situ-Meß- Und Regelsystems Für Halbleiterfertigungsprozesse Am Beispiel Der Thermischen Oxidation Von Silizium. Shaker, 1993.