Entwicklung eines in-situ-Meß- und Regelsystems für Halbleiterfertigungsprozesse am Beispiel der thermischen Oxidation von Silizium:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1993
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| Schriftenreihe: | Reihe Halbleitertechnik
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1993 |
| Beschreibung: | 144 S. graph. Darst. |
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