Schneider, C. (1993). Entwicklung eines in-situ-Meß- und Regelsystems für Halbleiterfertigungsprozesse am Beispiel der thermischen Oxidation von Silizium. Shaker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schneider, Claus. Entwicklung Eines In-situ-Meß- Und Regelsystems Für Halbleiterfertigungsprozesse Am Beispiel Der Thermischen Oxidation Von Silizium. Aachen: Shaker, 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Schneider, Claus. Entwicklung Eines In-situ-Meß- Und Regelsystems Für Halbleiterfertigungsprozesse Am Beispiel Der Thermischen Oxidation Von Silizium. Shaker, 1993.
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