Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium:
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1993
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INHALTSVERZEICHNIS:
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
THEORETISCHE
BESCHREIBUNG
VON
IMPIANTATIONSPROFILEN
.
4
2.1
ALLGEMEINE
BETRACHTUNG
.
4
2.2
EINDIMENSIONALE
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
.
5
2.2.1
LSS-THEORIE
UND
GAUSS-VERTEILUNG
.
5
2.2.2
ZUSAMMENGESETZTE
GAUSS-VERTEILUNG
.
8
2.2.3
PEARSON-VERTEILUNG
.
9
2.2.4
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
VON
TASCH
.
13
2.3
ZWEIDIMENSIONALE
VERTEILUNG
IMPLANTIERTER
IONEN
.
15
2.3.1
MODELL
VON
FURUKAWA
.
16
2.3.2
MODELL
VON
RUNGE
.
18
2.3.3
MODELL
VON
RYSSEL
.
19
2.2.4
MODELL
VON
LORENZ
.
21
3.
EXPERIMENTE
.
23
3.1
UNTERSUCHUNG
EINDIMENSIONALER
IMPLANTATIONSPROFILE
.
23
3.2
UNTERSUCHUNG
ZWEIDIMENSIONALER
IMPLANTATIONSPROFILE
.
27
3.2.1
PROBENHERSTELLUNG
.
28
3.2.2
AUFBAU
DES
AETZVERSUCHES
UND
DIE
AETZBEDINGUNGEN
.
31
3.3
DISKUSSION
DES
ANAETZVERFAHRENS
.
33
4.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSIONEN
.
42
4.1
EINDIMENSIONALE
PROFILE
VON
BOR,
PHOSPHOR
UND
ARSEN
.
42
4.1.1
EXPERIMENTELLE
PROFILE
.
42
4.1.2
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
DER
EINDIMENSIONALEN
IMPLANTATIONSPROFILE
.
53
4.2
ZWEIDIMENSIONALE
IMPLANTATIONSPROFILE
VON
BOR
.
70
4.2.1
EXPERIMENTELLE
ZWEIDIMENSIONALE
PROFILE
VON
BOR
.
70
4.2.2
SIMULATION
DER
ZWEIDIMENSIONALEN
PROFILE
VON
BOR
.
75
4.2.3
MASKENKANTENEFFEKT
.
83
5.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
93
6.
LITERATURANGABEN
.
95 |
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