Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss. |
| Beschreibung: | 100 S. Ill., zahlr. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV009023196 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940227s1993 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 940023016 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)257499066 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV009023196 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 100 | 1 | |a Gong, Li |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium |c von Li Gong |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 100 S. |b Ill., zahlr. graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Tiefenprofilmessung |0 (DE-588)4185422-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005967333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005967333 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807324351738937344 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS:
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
THEORETISCHE
BESCHREIBUNG
VON
IMPIANTATIONSPROFILEN
.
4
2.1
ALLGEMEINE
BETRACHTUNG
.
4
2.2
EINDIMENSIONALE
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
.
5
2.2.1
LSS-THEORIE
UND
GAUSS-VERTEILUNG
.
5
2.2.2
ZUSAMMENGESETZTE
GAUSS-VERTEILUNG
.
8
2.2.3
PEARSON-VERTEILUNG
.
9
2.2.4
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
VON
TASCH
.
13
2.3
ZWEIDIMENSIONALE
VERTEILUNG
IMPLANTIERTER
IONEN
.
15
2.3.1
MODELL
VON
FURUKAWA
.
16
2.3.2
MODELL
VON
RUNGE
.
18
2.3.3
MODELL
VON
RYSSEL
.
19
2.2.4
MODELL
VON
LORENZ
.
21
3.
EXPERIMENTE
.
23
3.1
UNTERSUCHUNG
EINDIMENSIONALER
IMPLANTATIONSPROFILE
.
23
3.2
UNTERSUCHUNG
ZWEIDIMENSIONALER
IMPLANTATIONSPROFILE
.
27
3.2.1
PROBENHERSTELLUNG
.
28
3.2.2
AUFBAU
DES
AETZVERSUCHES
UND
DIE
AETZBEDINGUNGEN
.
31
3.3
DISKUSSION
DES
ANAETZVERFAHRENS
.
33
4.
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSIONEN
.
42
4.1
EINDIMENSIONALE
PROFILE
VON
BOR,
PHOSPHOR
UND
ARSEN
.
42
4.1.1
EXPERIMENTELLE
PROFILE
.
42
4.1.2
ANALYTISCHE
BESCHREIBUNG
DER
EINDIMENSIONALEN
IMPLANTATIONSPROFILE
.
53
4.2
ZWEIDIMENSIONALE
IMPLANTATIONSPROFILE
VON
BOR
.
70
4.2.1
EXPERIMENTELLE
ZWEIDIMENSIONALE
PROFILE
VON
BOR
.
70
4.2.2
SIMULATION
DER
ZWEIDIMENSIONALEN
PROFILE
VON
BOR
.
75
4.2.3
MASKENKANTENEFFEKT
.
83
5.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.
93
6.
LITERATURANGABEN
.
95 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Gong, Li |
| author_facet | Gong, Li |
| author_role | aut |
| author_sort | Gong, Li |
| author_variant | l g lg |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV009023196 |
| ctrlnum | (OCoLC)257499066 (DE-599)BVBBV009023196 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV009023196</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940227s1993 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">940023016</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)257499066</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV009023196</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Gong, Li</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium</subfield><subfield code="c">von Li Gong</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">100 S.</subfield><subfield code="b">Ill., zahlr. graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Tiefenprofilmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185422-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005967333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005967333</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV009023196 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T01:26:55Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005967333 |
| oclc_num | 257499066 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-12 DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-12 DE-83 DE-11 |
| physical | 100 S. Ill., zahlr. graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Gong, Li Verfasser aut Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium von Li Gong 1993 100 S. Ill., zahlr. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss. Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd rswk-swf Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Einkristall (DE-588)4013901-3 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005967333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Gong, Li Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4027606-5 (DE-588)4013901-3 (DE-588)4185422-6 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium |
| title_auth | Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium |
| title_exact_search | Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium |
| title_full | Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium von Li Gong |
| title_fullStr | Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium von Li Gong |
| title_full_unstemmed | Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium von Li Gong |
| title_short | Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium |
| title_sort | untersuchung und charakterisierung von ein und zweidimensionalen implantationsprofilen in einkristallinem silicium |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd Tiefenprofilmessung (DE-588)4185422-6 gnd |
| topic_facet | Silicium Ionenimplantation Einkristall Tiefenprofilmessung Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005967333&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT gongli untersuchungundcharakterisierungvoneinundzweidimensionalenimplantationsprofilenineinkristallinemsilicium |