Rechnergestützte komplexe Festkörperanalytik für Mikroelektronikwerkstoffe, insbesondere von Siliciden zur Metallisierung von höchstintegrierten Schaltkreisen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Spieß, Lothar 1956- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: 1990
Schlagworte:
Beschreibung:Ilmenau, Techn. Hochsch., Diss.
Beschreibung:143, 6, 7 S.

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