Elektronenstrahlunterstütztes reaktives Sputtern von Titannitrid auf Schnellarbeitsstählen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
330 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Bremen, Univ., Diss. |
| Beschreibung: | X, 237 S. Ill., graph. Darst. |
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IV
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
LISTE
DER
VERWENDETEN
SYMBOLE
VII
LISTE
DER
VERWENDETEN
WERKSTOFFBEZEICHNUNGEN
IX
1
EINLEITUNG
1
2
STAND
DER
FORSCHUNG
3
2.1
GASPHASENABSCHEIDUNG
3
2.2
PVD-VERFAHREN
3
2.2.1
LONENPLATTIEREN
5
2.2.2
KATHODENZERSTAEUBEN
6
2.2.3
WEITERE
PVD-VARIANTEN
9
2.3
DAS
SYSTEM
TITAN-STICKSTOFF
10
2.4
WAERMEBEHANDLUNG
VON
HARTSTOFFSCHICHTEN
13
2.5
EINFLUSS
DER
PROBENTEMPERATUR
AUF
DAS
BESCHICHTUNGSERGEBNIS
17
2.6
WEITERE
EINFLUSSGROESSEN
AUF
DAS
VERHALTEN
VON
PVD-SCHICHTEN
22
2.7
ELEKTRONENSTRAHLTECHNOLOGIE
28
2.8
WECHSELWIRKUNG
DER
PROBE
MIT
ELEKTRONEN
31
2.9
BERECHNUNGSMODELLE
FUER
DIE
TEMPERATUR
35
2.10
ZUSAMMENFASSENDE
BEWERTUNG
DER
LITERATUR
35
3
EXPERIMENTELLE
EINRICHTUNGEN
UND
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
36
3.1
MAGNETRON-SPUTTER-ANLAGE
36
3.2
DURCHFUEHRUNG
DER
BESCHICHTUNGEN
38
3.3
ELEKTRONENSTRAHLQUELLE
(ESQ)
39
3.4
INTEGRATION
DER
ESQ
IN
DIE
MAGNETRON-SPUTTER-ANLAGE
40
3.5
ERMITTLUNG DER
LEISTUNGSDATEN
DER
ESQ
43
3.5.1
FOKUSDURCHMESSER
43
3.5.2
STRAHLABLENKUNG
49
3.5.3
REGELUNGSVERHALTEN
BEI
ZUENDUNG
DES
ELEKTRONENSTRAHLS
53
3.5.4
PROBENSTROM
54
3.6
PROBENTEMPERATUR
56
V
3.9.8
AKUSTISCHE
REFLEXIONSRASTERMIKROSKOPIE
79
3.6.1
MODELL
FUER
DIE
TEMPERATUR
DER
PROBENOBERFLAECHE
57
3.6.2
MODELL
FUER
DIE
TEMPERATUR
DER
GESAMTEN
PROBE
58
3.7
WERKSTOFFEINFLUSS
60
3.8
EXPERIMENTELLE
BESTIMMUNG
DER
PROBENTEMPERATUR
64
3.8.1
PROBENTEMPERATUR
BEIM
AUSHEIZEN
64
3.8.2
PROBENTEMPERATUR
BEIM
SPUTTERCLEANING
66
3.8.3
PROBENTEMPERATUR
BEIM
BESCHICHTEN
67
3.8.4
PROBENTEMPERATUR
BEIM
BESTRAHLEN
MIT
ELEKTRONEN
71
3.9
UNTERSUCHUNGSVERFAHREN
ZUR
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
75
3.9.1
OPTISCHE
GLIMMENTLADUNGSSPEKTROSKOPIE
75
3.9.2
RITZTEST
76
3.9.3
ROENTGENOGRAPHISCHE
UNTERSUCHUNGEN
76
3.9.4
VERSCHLEISSTES
TS
TJ
3.9.5
KALOTTENSCHLIFF
78
3.9.6
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
78
3.9.7
MIKROSONDE
79
4
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
4.1
REAKTIVES
SPUTTEM
VON
TITANNITRID
80
4.1.1
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
81
4.1.2
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
UND
SCHICHTDICKE
85
4.1.3
EIGENSPANNUNGEN
IN
DEN
SCHICHTEN
88
4.1.4
HAFTFESTIGKEIT
DER
SCHICHTEN
91
4.2
ELEKTRONENSTRAHLBEHANDLUNG
VOR
DER
BESCHICHTUNG
93
4.2.1
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
96
4.2.2
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
98
4.2.3
HAFTFESTIGKEIT
DER
SCHICHTEN
99
4.2.4
EIGENSPANNUNGEN
IN
DEN
SCHICHTEN
102
4.2.5
VERSCHLEISSVERHALTEN
DER
SCHICHTEN
103
4.3
ALTERNIERENDE
ELEKTRONENBESTRAHLUNG
UND
BESCHICHTUNG
109
4.3.1
SCHICHTAUFBAU
UND
SUBSTRATGEFUEGE
113
4.3.2
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
117
4.3.3
HAFTFESTIGKEIT
DER
SCHICHTEN
118
4.4
BESCHICHTUNG
MIT
ELEKTRONENBESTRAHLUNG
120
4.4.1
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
124
4.4.2
MORPHOLOGIE
DER
SCHICHTEN
125
VI
4.4.3
SCHICHTDICKE
131
4.5
NACHBEHANDLUNG
MIT
DEM
ELEKTRONENSTRAHL
131
4.5.1
ERGEBNISSE
132
4.6
ANALYSE
DES
PROZESSGASES
144
4.6.1
RESTGAS
WAEHREND
DES
EVAKUIERENS
145
4.6.2
RESTGAS
BEIM
AUSHEIZEN
146
4.6.3
ATMOSPHAERE
BEI
DER
BESTRAHLUNG
MIT
ELEKTRONEN
149
4.6.4
ATMOSPHAERE
BEI
DER
BESTRAHLUNG
WAEHREND
DES
SPUTTEMS
151
5
UNTERSUCHUNGEN
AN
WERKZEUGEN
161
5.1
GEWINDEBOHRER
162
5.1.1
BESCHICHTUNG
162
5.1.2
STANDZEITVERHALTEN
165
5.1.3
UNTERSUCHUNGEN
NACH
STANDZEITENDE
174
5.2
SCHAFTFRAESER
176
5.2.1
BESCHICHTUNG
176
5.2.2
STANDZEITVERHALTEN
178
5.2.3
UNTERSUCHUNGEN
NACH
STANDZEITENDE
184
5.3
STOSSWERKZEUGE
186
5.3.1
BESCHICHTUNG
187
5.3.2
STANDZEITVERHALTEN
190
6
DISKUSSION
DER
ERGEBNISSE
195
6.1
REAKTIVES
SPUTTERN
VON
TITANNITRID
196
6.2
ELEKTRONENSTRAHLBEHANDLUNG
VOR
DER
BESCHICHTUNG
201
6.3
ALTERNIERENDE
ELEKTRONENSTRAHLBEHANDLUNG
UND
BESCHICHTUNG
204
6.4
BESCHICHTUNG
MIT
ELEKTRONENBESTRAHLUNG
205
6.5
NACHBEHANDLUNG
MIT
DEM
ELEKTRONENSTRAHL
206
6.6
ANALYSE
DES
PROZESSGASES
207
6.7
BESCHICHTUNG
UND
UNTERSUCHUNG
VON
WERKZEUGEN
209
6.7.1
GEWINDEBOHRER
209
6.7.2
SCHAFTFRAESER
210
6.7.3
STOSSWERKZEUGE
210
6.7.4
ZUSAMMENFASSENDE
BEWERTUNG
DER
ERGEBNISSE
AN
WERKZEUGEN
211
VN
7
ZUSAMMENFASSUNG
213
8
ANHANG
217
8.1
BERECHNUNGEN
ZUR
STRAHLPROFILMESSUNG
217
8.2
ABBILDUNGSGLEICHUNGEN
FUER
ELEKTROMAGNETISCHE
LINSEN
218
8.3
WERKSTOFFDATEN
219
8.3.1
SCHNELLARBEITSSTAHL
S
6-5-2
219
8.3.2
TITANNITRID
223
8.3.3
WEITERE
WERKSTOFFPARAMETER
225
9
SCHRIFTTUM
227 |
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