Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 184 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV008882314 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940210s1993 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 940001268 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)46191892 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV008882314 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Göbel, Ulrich |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche |c von Ulrich Göbel |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 184 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1993 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Übergangsmetall |0 (DE-588)4078494-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Thermische Desorption |0 (DE-588)4185124-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kontamination |0 (DE-588)4032272-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Organisches Molekül |0 (DE-588)4133471-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Organisches Molekül |0 (DE-588)4133471-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Übergangsmetall |0 (DE-588)4078494-0 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Kontamination |0 (DE-588)4032272-5 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Thermische Desorption |0 (DE-588)4185124-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005875568&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005875568 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807684422073319424 |
|---|---|
| adam_text |
INHALT
1.
EINLEITUNG
1
1.1
ANALYTISCHE
METHODEN
IN
DER
HALBLEITERTECHNIK
2
1.2
METALLKONTAMINATION
AUF
SILICIUM-OBERFLAECHEN
3
1.3
ORGANISCHE
KONTAMINATION
AUF
DER
SILICIUM-OBERFLAECHE
5
1.4
OXIDATION
DER
SILICIUM-OBERFLAECHE
6
1.5
ZIEL
DIESER
ARBEIT
7
2.
VERWENDETE
MESSMETHODEN
10
2.1
THERMISCHE
DESORPTIONSSPEKTROSKOPIE
(TDS)
10
2.1.1
DIE
METHODE
10
2.1.2
DER
APPARATIVE
AUFBAU
14
2.1.3
GASATMOSPHAERE
IN
DER
KAMMER
19
2.1.4
DESORPTION
VON
KUPFER
VON
UNTERSCHIEDLICHEN
SUBSTRATEN
19
2.2
ROENTGENPHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
24
2.2.1
DIE
METHODE
24
2.2.1.1
INFORMATIONSTIEFE
24
2.2.1.2
QUALITATIVE
AUSWERTUNG
DER
SPEKTREN
25
2.2.1.2.1
DIE
CHEMISCHE
VERSCHIEBUNG
25
2.2.1.2.2
DIE
SEKUNDAERSTRUKTUR
26
2.2.1.2.3
AUGER-PEAKS
IN
XPS-SPEKTREN
27
2.2.1.3
QUANTITATIVE
AUSWERTUNG
DER
SPEKTREN
27
2.2.2
DAS
VERWENDETE
SPEKTROMETER
28
3.
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
KUPFERDESORPTION
29
3.1
DAS
KONTAMINATIONSVERFAHREN
30
3.1.1
EXPERIMENTELLE
VORAUSSETZUNGEN
DES
KONTAMINATIONSPROZESSES
30
3.1.2
TDS-EXPERIMENTE
32
3.1.2.1
DESORPTIONSVERHALTEN
DER
CUSO
4
-KONTAMINIERTEN
PROBEN
32
3.1.2.2
REPRODUZIERBARKEIT
DES
KONTAMINATIONSVERFAHRENS
34
3.1.2.3
WEITERE
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
ANSTIEG
IM
HOCHTEMPERATURBEREICH
36
INHALT
3.1.2.4
AUFNAHME
NICHTMETALLISCHER
KONTAMINATION
38
3.1.2.4.1
DER
BEREICH
VON
60
BIS
70
ATOMMASSENEINHEITEN
40
3.1.2.4.2
DESORPTIONSEFFEKTE
IM
BEREICH
VON
10
BIS
60
ATOMMASSENEINHEITEN
45
3.1.3
QUANTIFIZIERUNG
DER
AUFGEBRACHTEN
KUPFERMENGE
54
3.1.3.1
PHOTOMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
54
3.1.3.2
AUTORADIOLYSE-MESSUNGEN
58
3.1.3.3
DIE
VON
DER
OBERFLAECHE
DESORBIERENDE
KUPFERMENGE
60
3.1.3.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
QUANTIFIZIERUNGSEXPERIMENTE
61
3.1.4
DIE
MIKROMORPHOLOGIE
DER
OBERFLAECHE
DER
SILICIUM-PROBE
62
3.1.4.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOP-UNTERSUCHUNGEN
62
3.1.4.2
RASTERTUNNELMIKROSKOP-UNTERSUCHUNGEN
63
3.1.4.2.1
DIE
OBERFLAECHE
DER
PROBE
NACH
HF-BEHANDLUNG
64
3.1.4.2.2
EINFLUSS
DER
HF-BEHANDLUNG
AUF
DIE
KUPFERDESORPTION
65
3.1.4.2.3
SIM-MESSUNGEN
AN
SILICIUM-PROBEN
66
3.1.4.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
MIKROMORPHOLOGISCHEN
UNTERSUCHUNGEN
74
3.1.5
XPS-MESSUNGEN
75
3.1.5.1
VERAENDERUNGEN
BEI
KONTAMINATION
MIT
CUSO
4
/EDTA
(LOESUNG
4)
75
3.1.5.1.1
UNTERSUCHUNG
DES
SI2P-NIVEAUS
77
3.1.5.1.2
UNTERSUCHUNG
DES
O1S-NIVEAUS
78
3.1.5.1.3
UNTERSUCHUNG
DES
C1S-NIVEAUS
79
3.1.5.1.4
UNTERSUCHUNG
DES
S2P-NIVEAUS
80
3.1.5.1.5
UNTERSUCHUNG
DES
N1S-NIVEAUS
81
3.1.5.1.6
UNTERSUCHUNG
DES
F1S
-NIVEAUS
83
3.1.5.1.7
UNTERSUCHUNG
DES
CU2P-NIVEAUS
84
3.1.5.1.8
QUANTIFIZIERUNG
DER
XPS-SPEKTREN
86
3.1.5.1.9
ZUSAMMENFASSUNG
DER
VERAENDERUNGEN
DURCH
DIE
KONTAMINATION
88
3.1.5.2
KONTAMINATION
MIT
VERDUENNTEN
LOESUNGEN
89
3.1.5.3
VERWENDUNG
ANDERER
KONTAMINATIONSLOESUNGEN
93
3.1.6
ZUSAMMENFASSUNG
DER
VORGAENGE
BEIM
KONTAMINATIONSVERFAHREN
95
3.2
TDS-REFERENZMESSUNGEN
97
3.2.1
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
AUFNAHME
UNGEWOLLTER
KONTAMINATION
97
INHALT
3.2.2
EINFLUSS
VON
EDTA
AUF
DEN
BEOBACHTETEN
DESORPTIONSPEAK
100
3.2.3
TDS-UNTERSUCHUNGEN
ZU
DEN
KUPFERISOTOPEN
102
3.2.3.1
MESSUNGEN
AN
UNTERSCHIEDLICHEN
PROBEN
102
3.2.3.2
SIMULTANAUFNAHME
DES
ISOTOPENPATTERNS
105
3.2.3.2.1
VERWENDUNG
EINER
LANGSAMEREN
HEIZRATE
106
3.2.3.2.2
VARIATION
DES
ANIONS
108
3.2.3.2.3
AUFNAHME
DES
ISOTOPENPATTERNS
110
3.2.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
REFERENZMESSUNGEN
114
3.3
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
MECHANISMUS
DER
KUPFERDESORPTION
115
3.3.1
DER
KUPFERDESORPTIONSPEAK
BEI
WIEDERHOLTEM
AUFHEIZEN
116
3.3.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
DESORPTIONSORDNUNG
117
3.3.3
DESORPTIONSVERHALTEN
DER
ANIONEN
119
3.3.3.1
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
DESORPTION
VON
SULFATFRAGMENTEN
120
3.3.3.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
DESORPTION
VON
CHLOR
123
3.3.3.3
ZUSAMMENFASSUNG
DES
DESORPTIONSVERHALTENS
DER
ANIONEN
127
3.3.4
DAS
VERHALTEN
DES
SAUERSTOFFS
BEIM
DESORPTIONSEXPERIMENT
128
3.3.5
XPS-UNTERSUCHUNG
ZUR
DESORPTION
VON
KUPFER
132
3.3.6
TDS
UNTERSUCHUNGEN
MIT
VERDUENNTEN
KONTAMINATIONSLOESUNGEN
135
3.3.7
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
KUPFERSILICID-BILDUNG
138
3.3.8
ZUSAMMENFASSUNG
DER
MECHANISTISCHEN
UNTERSUCHUNGEN
139
3.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
KUPFERDESORPTION
141
4.
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
KOBALTDESORPTION
143
4.1
DAS
KONTAMINATIONSVERFAHREN
143
4.1.1
VERWENDETE
KONTAMINATIONSLOESUNG
143
4.1.2
TDS-EXPERIMENTE
144
4.1.2.1
DESORPTIONSSPEKTREN
VON
KOBALT-KONTAMINIERTEN
PROBEN
144
4.1.2.2
AUFNAHME
NICHTMETALLISCHER
KONTAMINATION
148
4.1.3
AUTORADIOLYSE-MESSUNGEN
155
4.1.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
VORGAENGE
BEIM
KONTAMINATIONSVERFAHREN
156
4.2
TDS-REFERENZMESSUNGEN
158
4.2.1
AUFNAHME
UNGEWOLLTER
KONTAMINATION
158
INHALT
4.2.2
DESORPTIONSMESSUNGEN
MIT
EDTA-KONTAMINIERTEN
PROBEN
161
4.2.3
ZUSAETZLICHE
KONTAMINATION
MIT
EDTA/NAOH
163
4.2.4
ABHAENGIGKEIT
ZWISCHEN
DESORPTIONSTEMPERATUR
UND
INTENSITAET
165
4.2.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
REFERENZMESSUNGEN
167
4.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
KOBALT-DESORPTION
168
5.
ZUSAMMENFASSUNG
170
6.
LITERATUR
179 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Göbel, Ulrich |
| author_facet | Göbel, Ulrich |
| author_role | aut |
| author_sort | Göbel, Ulrich |
| author_variant | u g ug |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV008882314 |
| ctrlnum | (OCoLC)46191892 (DE-599)BVBBV008882314 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV008882314</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940210s1993 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">940001268</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46191892</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV008882314</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Göbel, Ulrich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche</subfield><subfield code="c">von Ulrich Göbel</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">184 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Übergangsmetall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4078494-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Thermische Desorption</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185124-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kontamination</subfield><subfield code="0">(DE-588)4032272-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Organisches Molekül</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133471-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Organisches Molekül</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133471-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Übergangsmetall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4078494-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Kontamination</subfield><subfield code="0">(DE-588)4032272-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Thermische Desorption</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185124-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005875568&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005875568</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV008882314 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-18T00:50:02Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005875568 |
| oclc_num | 46191892 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-11 DE-188 |
| physical | 184 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Göbel, Ulrich Verfasser aut Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche von Ulrich Göbel 1993 184 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1993 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Übergangsmetall (DE-588)4078494-0 gnd rswk-swf Thermische Desorption (DE-588)4185124-9 gnd rswk-swf Kontamination (DE-588)4032272-5 gnd rswk-swf Organisches Molekül (DE-588)4133471-1 gnd rswk-swf Wafer (DE-588)4294605-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Wafer (DE-588)4294605-0 s Organisches Molekül (DE-588)4133471-1 s Übergangsmetall (DE-588)4078494-0 s Kontamination (DE-588)4032272-5 s Thermische Desorption (DE-588)4185124-9 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005875568&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Göbel, Ulrich Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Übergangsmetall (DE-588)4078494-0 gnd Thermische Desorption (DE-588)4185124-9 gnd Kontamination (DE-588)4032272-5 gnd Organisches Molekül (DE-588)4133471-1 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4078494-0 (DE-588)4185124-9 (DE-588)4032272-5 (DE-588)4133471-1 (DE-588)4294605-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche |
| title_auth | Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche |
| title_exact_search | Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche |
| title_full | Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche von Ulrich Göbel |
| title_fullStr | Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche von Ulrich Göbel |
| title_full_unstemmed | Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche von Ulrich Göbel |
| title_short | Zum Desorptionsverhalten von Übergangsmetallen und organischen Molekülen von der Silicium-(100)-Oberfläche |
| title_sort | zum desorptionsverhalten von ubergangsmetallen und organischen molekulen von der silicium 100 oberflache |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Übergangsmetall (DE-588)4078494-0 gnd Thermische Desorption (DE-588)4185124-9 gnd Kontamination (DE-588)4032272-5 gnd Organisches Molekül (DE-588)4133471-1 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd |
| topic_facet | Silicium Übergangsmetall Thermische Desorption Kontamination Organisches Molekül Wafer Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005875568&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT gobelulrich zumdesorptionsverhaltenvonubergangsmetallenundorganischenmolekulenvondersilicium100oberflache |