Gasmessungen mit der Kelvin-Sonde im Hinblick auf Sensoranwendungen:
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1993
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
4
1
EINLEITUNG
6
2
AUSTRITTSARBEIT
11
2.1
DEFINITION
.
11
2.2
METHODEN
ZUR
ABSOLUTMESSUNG
DER
AUSTRITTSARBEIT
.
13
2.2.1
THERMISCHE
EMISSION
.
13
2.2.2
PHOTOEMISSION
.
13
2.2.3
FELDEMISSION
.
14
2.3
AUSTRITTSARBEITSAENDERUNG
DURCH
ADATOME
.
.,
.
14
3
GASADSORPTION
16
3.1
GRUNDTYPEN
DER
WECHSELWIRKUNG
GAS/FESTKOERPER
.
16
3.2
GLEICHGEWICHTSZUSTAENDE
DER
GASADSORPTION
.
17
3.3
KINETIK
DER
GASADSORPTION
.
21
4
PRINZIP
DER
KELVIN-SONDE
23
4.1
KONTAKTPOTENTIAL
UND
AUSTRITTSARBEITSDIFFERENZ
.
23
4.2
FUNKTIONSWEISE
DER
KELVIN-SONDE
.
25
5
AUFBAU
UND
BETRIEB
DES
MESSPLATZES
27
5.1
MECHANISCHER
AUFBAU
.
27
5.1.1
GESAMTAUFBAU
.
27
5.1.2
KELVIN-SONDE
.
28
5.1.3
PROBENHALTER
.
29
5.1.4
HEIZUNG
.
30
5.2
ELEKTRONISCHER
REGELKREIS
FUER
DIE
GEGENSPANNUNG
.
31
5.3
EINSTELLEN
DES
ABSTANDES
REFERENZELEKTRODE
-
PROBE
.
33
5.4
NACHWEIS
DER
MESSUNG
DER
AUSTRITTSARBEITSDIFFERENZ
.
34
5.5
DATENERFASSUNG
.
35
5.5.1
AUFZEICHNUNG
MIT
RECHNER
.
35
5.5.2
X,T-SCHREIBER
.
35
5.6
TEMPERATURREGELUNG
.
36
5.7
VAKUUMANLAGE
UND
GASVERSORGUNG
.
37
5.7.1
PUMPSTAND
.
37
5.7.2
GASVERSORGUNG
.
.
.
37
5.7.3
ELEKTRISCHE
DURCHFUEHRUNGEN
.
37
6
AUSTRITTSARBEITSMESSUNGEN
39
6.1
ALLGEMEINES
.
39
6.1.1
TEMPERATUR
.
39
6.1.2
REFERENZELEKTRODE
.
40
6.1.3
VORBEHANDLUNG
.
40
6.1.4
BEISPIEL
.
42
6.2
DIFFERENZBILDUNG
.
43
6.3
MONOTONIE
.
44
6.4
VORGESCHICHTE
.
46
6.5
SAETTIGUNGSEFFEKT
.
48
6.6
TRAEGERGASEINFLUSS
.
50
6.7
NEUE
MATERIALIEN
.
51
6.7.1
AMORPHE
KOHLENWASSERSTOFFSCHICHT
.
51
6.7.2
WOLFRAMOXID
/
TITANOXID
.
52
6.7.3
ALUMINIUMOXID
.
53
6.8
GASGEMISCHE
.
55
6.8.1
ANZAHL
DER
EICHMESSUNGEN
.
55
6.8.2
BEDINGUNGEN
FUER
DIE
UMKEHRBARKEIT
.
57
6.8.3
OPTIMIERTE
SCHICHTSYSTEME
.
59
6.9
ZEITLICHER
VERLAUF
DES
SIGNALS
.
62
7
KINEMATIK
AUFGRUND
MIKROSKOPISCHER
GASLEITUNGEN
67
7.1
VERGLEICHENDE
MESSUNG
HSGFET
-
KELVIN-SONDE
.
67
7.2
MODELL
VORSTELLUNG
.
69
7.2.1
LAUFZEITEFFEKT
.
70
7.2.2
EINSCHLIESSEN
DER
VORGESCHICHTE
.
72
7.3
SIMULATIONSPROGRAMM
.
75
7.4
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
78
7.4.1
LAUFZEITEFFEKT
.
78
7.4.2
ZERFALL
EINER
MONOLAGE
.
79
7.4.3
GASAUSTAUSCH
BEI
PHYSISORPTION
.
82
7.4.4
EINSTELLEN
EINER
GLEICHGEWICHTSBEDECKUNG
.
83
8
AUSBLICK:
HERSTELLUNG
MIKROSKOPISCHER
GASLEITUNGEN
84
8.1
KAMM-STRUKTUR
.
84
8.2
VERSCHLIESSEN
EINES
UNTERAETZTEN
HOHLRAUMES
.
84
8.3
VERSCHLIESSEN
EINER
MASKE
.
86
LITERATURVERZEICHNIS
88 |
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