Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
Saved in:
| Format: | Book |
|---|---|
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
|
| Series: | Mikro- und Nanotechnik
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Literaturverzeichnis Seite 203 - 208 |
| Physical Description: | XVII, 221 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3184013219 |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV008864155 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20230608 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 940124s1993 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 3184013219 |9 3-18-401321-9 | ||
| 035 | |a (OCoLC)263292049 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV008864155 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-859 |a DE-29T |a DE-92 |a DE-91 |a DE-91G |a DE-210 |a DE-862 |a DE-858 |a DE-1046 |a DE-Aug4 |a DE-M347 |a DE-523 |a DE-634 |a DE-83 | ||
| 050 | 0 | |a TK7870 | |
| 082 | 0 | |a 338.4/762138154 |2 20 | |
| 084 | |a ZN 3750 |0 (DE-625)157334: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4300 |0 (DE-625)157383: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZN 4980 |0 (DE-625)157428: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZS 4000 |0 (DE-625)158249: |2 rvk | ||
| 084 | |a FER 792f |2 stub | ||
| 084 | |a MAS 990f |2 stub | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Technologien für Mikrosysteme |b Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik |c Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ... |
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1993 | |
| 300 | |a XVII, 221 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Mikro- und Nanotechnik | |
| 500 | |a Literaturverzeichnis Seite 203 - 208 | ||
| 650 | 4 | |a Electronic industries |x Technological innovations | |
| 650 | 4 | |a Miniature electronic equipment | |
| 650 | 0 | 7 | |a Forschung und Entwicklung |0 (DE-588)4017897-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Forschung und Entwicklung |0 (DE-588)4017897-3 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Gronau, Magdala |e Sonstige |4 oth | |
| 700 | 1 | |a Hafkesbrink, Joachim |e Sonstige |4 oth | |
| 856 | 4 | 2 | |m HEBIS Datenaustausch Darmstadt |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005862867&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005862867 | ||
Record in the Search Index
| DE-BY-862_location | 2801 |
|---|---|
| DE-BY-FWS_call_number | 2801/1991:6768 |
| DE-BY-FWS_katkey | 131791 |
| DE-BY-FWS_media_number | 083100347996 |
| _version_ | 1824555454705958912 |
| adam_text | TECHNOLOGIEN FUER MIKROSYSTEME STAND UND ENTWICKLUNG INTEGRIERTE OPTIK -
SCHICHTTECHNIKEN - MIKROMECHANIK HALBLEITERTECHNIKEN - FASEROPTIK DR.
MAGDALA GRONAU (HRSG.) DR. RER. OEC. JOACHIM HAFKESBRINK DIPL.-ING.
DIPL.-WIRT.-ING. MICHAEL KRAUSE DR. RER. NAT. WILFRIED MOKWA DIPL.-PHYS.
MATTHIAS ROSPERT VERLAG XI INHALTSVERZEICHNIS 1 TECHNOLOGISCHE
INNOVATIONEN DURCH MIKROSYSTEMTECHNIKEN . . 1 1.1 DAS FELD DER
MIKROSYSTEMTECHNIK 1 1.2 HERAUSFORDERUNGEN BEI DER PRODUKT- UND
PROZESSINNOVATION: PROBLEM DES INNOVATIONS- UND KOOPERATIONSMANAGEMENTS.
..... 7 1.3 TECHNOLOGIE-LEBENSZYKLUS VON MIKROTECHNIKEN:
UNTERSCHIEDLICHE AUFGABENSTELLUNGEN VON DER VORWETTBEWERB- LICHEN
GRUNDLAGENENTWICKLUNG BIS ZUR MARKTLICHEN VERWENDUNG . 11 1.4
TECHNOMETRIE, BIBLIOMETRIE UND PATENTANALYSE: INDIKATORENKONZEPT IM
RAHMEN DER VORLIEGENDEN UNTERSUCHUNG. . 17 2 TECHNOMETRIE DER
MIKROSYSTEMTECHNIK 21 2.1 UEBERBLICK UEBER BISHERIGE VERFAHREN ZUR MESSUNG
UND BEWERTUNG DES TECHNIKSTANDES 21 2.2 METHODIK DER TECHNOMETRIE FUER
DIE MIKROSYSTEMTECHNIK 22 2.2.1 OPERATIONALISIERUNG DER TECHNISCHEN
THEMENFELDER UND DATENERHEBUNG 22 2.2.2 VERDICHTUNG DER TECHNOMETRISCHEN
ERGEBNISSE IN FUE-PORTFOLIOS . 26 2.2.2.1 POSITIONIERUNG DER
TECHNOLOGIEFELDER IN FUE-PORTFOLIOS 26 2.2.2.2 INTERPRETATION DER
FUE-PORTFOLIOS ZUR ABLEITUNG TECHNOLOGIE- POLITISCHER HANDLUNGSOPTIONEN
26 2.2.2.3 INTERPRETATION DER FUE-PORTFOLIOS ZUR ABLEITUNG EINZEL-
WIRTSCHAFTLICHER FUE-STRATEGIEN 29 2.3 STAND UND FUE-BEDARF DER
MIKROSYSTEMTECHNIKEN IN AUS- GEWAEHLTEN FELDERN 32 2.3.1 TECHNOMETRIE DER
INTEGRIERTEN OPTIK, SCHICHTTECHNIKEN, MIKROMECHANIK, HALBLEITERTECHNIK
UND FASEROPTIK 32 2.3.1.1 INTEGRIERTE OPTIK 32 2.3.1.2 SCHICHTTECHNIKEN
46 2.3.1.3 MIKROMECHANIK 58 2.3.1.4 HALBLEITERTECHNIKEN 69 2.3.1.5
FASEROPTIK 76 XU INHALTSVERZEICHNIS 2.3.2 KOMPATIBILITAET DER
EINZELTECHNIKEN IM HINBLICK AUF IHRE SYSTEMINTEGRATION 83 2.3.2.1
KOMBINATIONSTECHNIKEN DER INTEGRIERTEN OPTIK 85 2.3.2.2
KOMBINATIONSTECHNIKEN DER SCHICHTTECHNIKEN 89 2.3.2.3
KOMBINATIONSTECHNIKEN DER MIKROMECHANIK 92 2.3.2.4 KOMBINATIONSTECHNIKEN
DER HALBLEITERTECHNIKEN 95 2.3.2.5 KOMBINATIONSTECHNIKEN DER FASEROPTIK
96 3 BIBLIOMETRIE FUER DIE PHYSIKALISCHE UND (BIO-)CHEMISCHE SENSORIK 99
3.1 ZIELSETZUNG UND METHODIK DER BIBLIOMETRIE 99 3.2 AKTIVITAETEN IM
BEREICH PHYSIKALISCHE SENSOREN 99 3.3 AKTIVITAETEN IM BEREICH
(BIO-)CHEMISCHE SENSOREN 104 4 PATENTRECHERCHE FUER DIE CHEMISCHE UND
PHYSIKALISCHE SENSORIK 111 4.1 ZIELSETZUNG DER PATENTRECHERCHE 111 4.2
UMFANG UND ERGEBNIS DER PATENTRECHERCHE 112 4.3 BEWERTUNG DER
PATENTAKTIVITAETEN IN DEUTSCHLAND 115 4.4 VERTEILUNG DER PATENTE AUF
HAUPTANWENDUNGSGEBIETE VON CHEMISCHEN SENSOREN 116 4.5 VERTEILUNG DER
PATENTE AUF HERSTELLUNGSTECHNOLOGIEN UND AUF DIE KONSTRUKTIVE GESTALTUNG
120 4.6 DERZEITIGER ENTWICKLUNGSSTAND UND TRENDS BEI DER HERSTELLUNG UND
ANWENDUNG VON CHEMISCHEN SENSOREN 122 4.6.1 EINGESETZTE MATERIALIEN 122
4.6.2 FUNKTIONELLE VARIANTEN 124 4.6.3 VERWENDETE TECHNOLOGIEN 128 4.7
ERKENNBARE TRENDS 130 5 ZUSAMMENFASSUNG DER ERGEBNISSE: FUE-OPTIONEN FUER
DIE MIKROSYSTEMTECHNIK 133 5.1 TECHNOLOGIEPOLITISCHE HANDLUNGS-OPTIONEN
133 5.1.1 CHARAKTERISIERUNG DER FORSCHUNGSFELDER DER FUE-PORTFOLIOS ....
133 INHALTSVERZEICHNIS XIII 5.1.2 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER
ANPASSUNGENTWICKLUNGEN DER MIKROTECHNIKEN IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK 141
5.1.2.1 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER DIE INTEGRIERTE OPTIK 141 5.1.2.2
FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER SCHICHTTECHNIKEN 145 5.1.2.3 FOERDERUNGS-OPTIONEN
FUER DIE MIKROMECHANIK 149 5.1.2.4 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER
HALBLEITERTECHNIKEN 152 5.1.2.5 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER DIE FASEROPTIK
153 5.2 ORIENTIERUNG EINZELWIRTSCHAFTLICHER FUE-STRATEGIEN 155 5.2.1
VERWENDUNG DER TECHNOMETRIE-INDIKATOREN IM RAHMEN DER
TECHNOLOGIE-PORTFOLIO-ANALYSE 155 5.2.2 VERWENDUNG DER
TECHNOMETRIE-INDIKATOREN IM RAHMEN VON MAKE-OR-BUY-ENTSCHEIDUNGEN IN DER
MST 158 6 STRUKTUR UND NUTZUNG DER DATENBLAETTER 163 6.1 INTEGRIERTE
OPTIK 165 6.1.1 INTEGRIERTE OPTIK AUF GLAS 165 6.1.2 INTEGRIERTE OPTIK
AUF SILIZIUM 167 6.1.3 INTEGRIERTE OPTIK AUF LITHIUMNIOBAT 169 6.1.4
INTEGRIERTE OPTIK AUF III/V-HALBLEITERN 171 6.1.5 INTEGRIERTE OPTIK AUF
POLYMEREN 172 6.2 SCHICHTTECHNIKEN 173 6.2.1 DUENNFILMTECHNIK 173 6.2.2
ABSCHEIDEN AUS DER FLUESSIGEN PHASE 179 6.2.3 DICKSCHICHTVERFAHREN 181
6.3 MIKROMECHANIK 182 6.3.1 MIKROMECHANIK AUF SILIZIUMBASIS 182 6.3.2
MIKROMECHANIK AUF BASIS VON QUARZ UND ANDEREN MATERIALIEN .184 6.3.3
LIGA-VERFAHREN 185 6.4 HALBLEITERTECHNIKEN 187 6.5 FASEROPTIK 192 7 DER
FOERDERSCHWERPUNKT MIKROSYSTEMTECHNIK DES BMFT .197 7.1 ENTSTEHUNG UND
BEGRUENDUNG DES FOERDERSCHWERPUNKTES 197 7.2 DIE AUS- UND BEWERTUNG DER
FOERDERUNG 199
|
| any_adam_object | 1 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV008864155 |
| callnumber-first | T - Technology |
| callnumber-label | TK7870 |
| callnumber-raw | TK7870 |
| callnumber-search | TK7870 |
| callnumber-sort | TK 47870 |
| callnumber-subject | TK - Electrical and Nuclear Engineering |
| classification_rvk | ZN 3750 ZN 4300 ZN 4980 ZS 4000 |
| classification_tum | FER 792f MAS 990f |
| ctrlnum | (OCoLC)263292049 (DE-599)BVBBV008864155 |
| dewey-full | 338.4/762138154 |
| dewey-hundreds | 300 - Social sciences |
| dewey-ones | 338 - Production |
| dewey-raw | 338.4/762138154 |
| dewey-search | 338.4/762138154 |
| dewey-sort | 3338.4 9762138154 |
| dewey-tens | 330 - Economics |
| discipline | Handwerk und Gewerbe / Verschiedene Technologien Fertigungstechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Wirtschaftswissenschaften Maschinenbau |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02279nam a2200541 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV008864155</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20230608 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">940124s1993 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3184013219</subfield><subfield code="9">3-18-401321-9</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)263292049</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV008864155</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-859</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-862</subfield><subfield code="a">DE-858</subfield><subfield code="a">DE-1046</subfield><subfield code="a">DE-Aug4</subfield><subfield code="a">DE-M347</subfield><subfield code="a">DE-523</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TK7870</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">338.4/762138154</subfield><subfield code="2">20</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 3750</subfield><subfield code="0">(DE-625)157334:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4300</subfield><subfield code="0">(DE-625)157383:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4980</subfield><subfield code="0">(DE-625)157428:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZS 4000</subfield><subfield code="0">(DE-625)158249:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 792f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MAS 990f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Technologien für Mikrosysteme</subfield><subfield code="b">Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik</subfield><subfield code="c">Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ...</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XVII, 221 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Mikro- und Nanotechnik</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Literaturverzeichnis Seite 203 - 208</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Electronic industries</subfield><subfield code="x">Technological innovations</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Miniature electronic equipment</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Forschung und Entwicklung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4017897-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Forschung und Entwicklung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4017897-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Gronau, Magdala</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hafkesbrink, Joachim</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HEBIS Datenaustausch Darmstadt</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005862867&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005862867</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV008864155 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2025-02-20T07:07:55Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3184013219 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005862867 |
| oclc_num | 263292049 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-859 DE-29T DE-92 DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-862 DE-BY-FWS DE-858 DE-1046 DE-Aug4 DE-M347 DE-523 DE-634 DE-83 |
| owner_facet | DE-859 DE-29T DE-92 DE-91 DE-BY-TUM DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-862 DE-BY-FWS DE-858 DE-1046 DE-Aug4 DE-M347 DE-523 DE-634 DE-83 |
| physical | XVII, 221 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Mikro- und Nanotechnik |
| spellingShingle | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik Electronic industries Technological innovations Miniature electronic equipment Forschung und Entwicklung (DE-588)4017897-3 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4017897-3 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4221617-5 |
| title | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik |
| title_auth | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik |
| title_exact_search | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik |
| title_full | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ... |
| title_fullStr | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ... |
| title_full_unstemmed | Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ... |
| title_short | Technologien für Mikrosysteme |
| title_sort | technologien fur mikrosysteme stand und entwicklung integrierte optik schichttechniken mikromechanik halbleitertechniken faseroptik |
| title_sub | Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik |
| topic | Electronic industries Technological innovations Miniature electronic equipment Forschung und Entwicklung (DE-588)4017897-3 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd |
| topic_facet | Electronic industries Technological innovations Miniature electronic equipment Forschung und Entwicklung Mikromechanik Mikrosystemtechnik |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005862867&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT gronaumagdala technologienfurmikrosystemestandundentwicklungintegrierteoptikschichttechnikenmikromechanikhalbleitertechnikenfaseroptik AT hafkesbrinkjoachim technologienfurmikrosystemestandundentwicklungintegrierteoptikschichttechnikenmikromechanikhalbleitertechnikenfaseroptik |
Indexes
THWS Schweinfurt Magazin
| Call Number: |
2801 1991:6768 |
|---|---|
| Copy 1 | bestellbar aus dem Magazin Available Place a Hold |