Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
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| Format: | Buch |
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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| Schriftenreihe: | Mikro- und Nanotechnik
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SCHICHTTECHNIKEN - MIKROMECHANIK HALBLEITERTECHNIKEN - FASEROPTIK DR.
MAGDALA GRONAU (HRSG.) DR. RER. OEC. JOACHIM HAFKESBRINK DIPL.-ING.
DIPL.-WIRT.-ING. MICHAEL KRAUSE DR. RER. NAT. WILFRIED MOKWA DIPL.-PHYS.
MATTHIAS ROSPERT VERLAG XI INHALTSVERZEICHNIS 1 TECHNOLOGISCHE
INNOVATIONEN DURCH MIKROSYSTEMTECHNIKEN . . 1 1.1 DAS FELD DER
MIKROSYSTEMTECHNIK 1 1.2 HERAUSFORDERUNGEN BEI DER PRODUKT- UND
PROZESSINNOVATION: PROBLEM DES INNOVATIONS- UND KOOPERATIONSMANAGEMENTS.
..... 7 1.3 TECHNOLOGIE-LEBENSZYKLUS VON MIKROTECHNIKEN:
UNTERSCHIEDLICHE AUFGABENSTELLUNGEN VON DER VORWETTBEWERB- LICHEN
GRUNDLAGENENTWICKLUNG BIS ZUR MARKTLICHEN VERWENDUNG . 11 1.4
TECHNOMETRIE, BIBLIOMETRIE UND PATENTANALYSE: INDIKATORENKONZEPT IM
RAHMEN DER VORLIEGENDEN UNTERSUCHUNG. . 17 2 TECHNOMETRIE DER
MIKROSYSTEMTECHNIK 21 2.1 UEBERBLICK UEBER BISHERIGE VERFAHREN ZUR MESSUNG
UND BEWERTUNG DES TECHNIKSTANDES 21 2.2 METHODIK DER TECHNOMETRIE FUER
DIE MIKROSYSTEMTECHNIK 22 2.2.1 OPERATIONALISIERUNG DER TECHNISCHEN
THEMENFELDER UND DATENERHEBUNG 22 2.2.2 VERDICHTUNG DER TECHNOMETRISCHEN
ERGEBNISSE IN FUE-PORTFOLIOS . 26 2.2.2.1 POSITIONIERUNG DER
TECHNOLOGIEFELDER IN FUE-PORTFOLIOS 26 2.2.2.2 INTERPRETATION DER
FUE-PORTFOLIOS ZUR ABLEITUNG TECHNOLOGIE- POLITISCHER HANDLUNGSOPTIONEN
26 2.2.2.3 INTERPRETATION DER FUE-PORTFOLIOS ZUR ABLEITUNG EINZEL-
WIRTSCHAFTLICHER FUE-STRATEGIEN 29 2.3 STAND UND FUE-BEDARF DER
MIKROSYSTEMTECHNIKEN IN AUS- GEWAEHLTEN FELDERN 32 2.3.1 TECHNOMETRIE DER
INTEGRIERTEN OPTIK, SCHICHTTECHNIKEN, MIKROMECHANIK, HALBLEITERTECHNIK
UND FASEROPTIK 32 2.3.1.1 INTEGRIERTE OPTIK 32 2.3.1.2 SCHICHTTECHNIKEN
46 2.3.1.3 MIKROMECHANIK 58 2.3.1.4 HALBLEITERTECHNIKEN 69 2.3.1.5
FASEROPTIK 76 XU INHALTSVERZEICHNIS 2.3.2 KOMPATIBILITAET DER
EINZELTECHNIKEN IM HINBLICK AUF IHRE SYSTEMINTEGRATION 83 2.3.2.1
KOMBINATIONSTECHNIKEN DER INTEGRIERTEN OPTIK 85 2.3.2.2
KOMBINATIONSTECHNIKEN DER SCHICHTTECHNIKEN 89 2.3.2.3
KOMBINATIONSTECHNIKEN DER MIKROMECHANIK 92 2.3.2.4 KOMBINATIONSTECHNIKEN
DER HALBLEITERTECHNIKEN 95 2.3.2.5 KOMBINATIONSTECHNIKEN DER FASEROPTIK
96 3 BIBLIOMETRIE FUER DIE PHYSIKALISCHE UND (BIO-)CHEMISCHE SENSORIK 99
3.1 ZIELSETZUNG UND METHODIK DER BIBLIOMETRIE 99 3.2 AKTIVITAETEN IM
BEREICH PHYSIKALISCHE SENSOREN 99 3.3 AKTIVITAETEN IM BEREICH
(BIO-)CHEMISCHE SENSOREN 104 4 PATENTRECHERCHE FUER DIE CHEMISCHE UND
PHYSIKALISCHE SENSORIK 111 4.1 ZIELSETZUNG DER PATENTRECHERCHE 111 4.2
UMFANG UND ERGEBNIS DER PATENTRECHERCHE 112 4.3 BEWERTUNG DER
PATENTAKTIVITAETEN IN DEUTSCHLAND 115 4.4 VERTEILUNG DER PATENTE AUF
HAUPTANWENDUNGSGEBIETE VON CHEMISCHEN SENSOREN 116 4.5 VERTEILUNG DER
PATENTE AUF HERSTELLUNGSTECHNOLOGIEN UND AUF DIE KONSTRUKTIVE GESTALTUNG
120 4.6 DERZEITIGER ENTWICKLUNGSSTAND UND TRENDS BEI DER HERSTELLUNG UND
ANWENDUNG VON CHEMISCHEN SENSOREN 122 4.6.1 EINGESETZTE MATERIALIEN 122
4.6.2 FUNKTIONELLE VARIANTEN 124 4.6.3 VERWENDETE TECHNOLOGIEN 128 4.7
ERKENNBARE TRENDS 130 5 ZUSAMMENFASSUNG DER ERGEBNISSE: FUE-OPTIONEN FUER
DIE MIKROSYSTEMTECHNIK 133 5.1 TECHNOLOGIEPOLITISCHE HANDLUNGS-OPTIONEN
133 5.1.1 CHARAKTERISIERUNG DER FORSCHUNGSFELDER DER FUE-PORTFOLIOS ....
133 INHALTSVERZEICHNIS XIII 5.1.2 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER
ANPASSUNGENTWICKLUNGEN DER MIKROTECHNIKEN IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK 141
5.1.2.1 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER DIE INTEGRIERTE OPTIK 141 5.1.2.2
FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER SCHICHTTECHNIKEN 145 5.1.2.3 FOERDERUNGS-OPTIONEN
FUER DIE MIKROMECHANIK 149 5.1.2.4 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER
HALBLEITERTECHNIKEN 152 5.1.2.5 FOERDERUNGS-OPTIONEN FUER DIE FASEROPTIK
153 5.2 ORIENTIERUNG EINZELWIRTSCHAFTLICHER FUE-STRATEGIEN 155 5.2.1
VERWENDUNG DER TECHNOMETRIE-INDIKATOREN IM RAHMEN DER
TECHNOLOGIE-PORTFOLIO-ANALYSE 155 5.2.2 VERWENDUNG DER
TECHNOMETRIE-INDIKATOREN IM RAHMEN VON MAKE-OR-BUY-ENTSCHEIDUNGEN IN DER
MST 158 6 STRUKTUR UND NUTZUNG DER DATENBLAETTER 163 6.1 INTEGRIERTE
OPTIK 165 6.1.1 INTEGRIERTE OPTIK AUF GLAS 165 6.1.2 INTEGRIERTE OPTIK
AUF SILIZIUM 167 6.1.3 INTEGRIERTE OPTIK AUF LITHIUMNIOBAT 169 6.1.4
INTEGRIERTE OPTIK AUF III/V-HALBLEITERN 171 6.1.5 INTEGRIERTE OPTIK AUF
POLYMEREN 172 6.2 SCHICHTTECHNIKEN 173 6.2.1 DUENNFILMTECHNIK 173 6.2.2
ABSCHEIDEN AUS DER FLUESSIGEN PHASE 179 6.2.3 DICKSCHICHTVERFAHREN 181
6.3 MIKROMECHANIK 182 6.3.1 MIKROMECHANIK AUF SILIZIUMBASIS 182 6.3.2
MIKROMECHANIK AUF BASIS VON QUARZ UND ANDEREN MATERIALIEN .184 6.3.3
LIGA-VERFAHREN 185 6.4 HALBLEITERTECHNIKEN 187 6.5 FASEROPTIK 192 7 DER
FOERDERSCHWERPUNKT MIKROSYSTEMTECHNIK DES BMFT .197 7.1 ENTSTEHUNG UND
BEGRUENDUNG DES FOERDERSCHWERPUNKTES 197 7.2 DIE AUS- UND BEWERTUNG DER
FOERDERUNG 199
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