Chromatische Höhenbestimmung mit dem konfokalen Mikroskop:
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1992
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3
INHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGSVERZEICHNIS
5
1.
EINFUEHRUNG
IN
DIE
OPTISCHE
3D-VERMESSUNG
8
2.
DAS
PRINZIP
DES
SCANNING-MIKROSKOPS
16
3.
KONFOKALE
MIKROSKOPE
21
3.1
ANWENDUNGSGEBIETE
21
3.2
KONFOKALE
MIKROSKOPE
MIT
EINZELPUNKT-SCANNING
21
3.3
KONFOKALE
ECHTZEIT-MIKROSKOPE
30
4.
THEORETISCHE
BETRACHTUNGEN
34
4.1
DIE
3-DIMENSIONALE
IMPULSANTWORT
DER
EINZELLINSE
35
4.2
DIE
OPTISCHE
ABBILDUNG
39
4.3
DIE
ABBILDUNG
IM
KONFOKALEN
SYSTEM
40
4.4
DIE
TIEFENDISKRIMINIERUNG
50
4.5
DIMENSIONIERUNG
DER
LOCHSCHEIBE
51
5.
DER
AUFBAU
55
6.
DIE
SOFTWARE
62
6.1
AUFNAHME
VON
HOEHENSCHNITTBILDERN
UND
HOEHENBESTIMMUNG
62
6.2
DARSTELLUNG
DER
ERMITTELTEN
3D-STRUKTUR
65
6.3
ZEILENBILDER
68
7.
UNTERSUCHUNG
DER
EIGENSCHAFTEN
DES
SYSTEMS
73
7.1
DIE
TIEFENDISKRIMINIERUNG
73
7.2
DIE
BILDFELDWOELBUNG
76
7.3
DIE
GENAUIGKEIT
DER
HOEHENBESTIMMUNG
78
7.4
DIE
LATERALEN
ABBILDUNGSGRENZEN
87
4
8.
DAS
CHROMATISCHE
VERFAHREN
88
8.1
FARBMETRIK
89
8.2
DIE
LAGE
DES
CHROMATISCHEN
FOKUS
96
8.3
WAHL
DER
FARBFILTER
99
8.3.1
DIE
OPTIMALE
Z-ABHAENGIGKEIT
DER
FARBKOMPONENTEN
100
8.3.2
DIE
OPTIMALE
SPEKTRALE
TRANSMISSION
DER
FARBFILTER
105
9.
REALISIERUNG
EINES
VERFAHRENS
ZUR
CHROMATISCHEN
HOEHENBESTIMMUNG
112
9.1
DIE
FILTERWAHL
112
9.2
DIE
SOFTWARE
118
9.3
RESULTATE
122
10.
MIKROLINSENRASTER
128
10.1
DER
AUFBAU
128
10.2
DIE
VERMESSUNG
VON
3D-STRUKTUREN
132
10.3
MESSBEREICH
UND
MESSGENAUIGKEIT
135
11.
ZUSAMMENFASSUNG
140
ANHANG:
FARBBILDER
142
LITERATURVERZEICHNIS
144 |
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