Optimierung von HF-Gasentladungen für schnell längsgeströmte CO-2-Laser:
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Stuttgart
Teubner
1994
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INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG
5
SYMBOLE
UND
ABKUERZUNGEN
11
1
EINLEITUNG
14
1.1
HISTORISCHER
UEBERBLICK
DER
COJ-LASERENTWICKLUNG
.
14
1.2
ZIELSETZUNG
UND
GLIEDERUNG
DER
ARBEIT
.
17
2
DIE
HF-GASENTLADUNG
19
2.1
ALLGEMEINE
CHARAKTERISTIKEN
.
19
2.2
MODELL
DER
HF-ENTLADUNG
.
22
2.3
EINKOPPLUNG
DER
HF-LEISTUNG
.
23
2.3.1
DIELEKTRISCHE
ELEKTRODEN
.
24
2.3.2
ENTLADUNGSINSTABILITAETEN
.
26
3
ANPASSUNG
DES
HF-GENERATORS
AN
DIE
ENTLADUNG
29
3.1
DER
HF-GENERATOR
.
29
3.2
KALIBRIERUNG
DER
HF-GENERATORLEISTUNG
.
30
3.3
DAS
ANPASSN.ETZWERK
.
30
3.4
ERSTELLEN
DER
ELEKTRISCHEN
SCHALTBILDER
.
31
3.4.1
SCHALTBILD
DES
II-ANPASSNETZWERKS
.
32
3.4.2
SCHALTBILD
DES
UNGEZUENDETEN
LASERS
.
32
3.4.3
SCHALTBILD
DES
GEZUENDETEN
LASERS
.
34
3.5
VERGLEICH
DER
GEMESSENEN
UND
GERECHNETEN
IMPEDANZKURVEN
.
35
3.6
HF-VERHALTEN
VON
ANPASSNETZWERK
UND
LASER
.
35
3.7
UEBERBLICK
DER
WICHTIGSTEN
ERGEBNISSE
.
38
4
MESSUNG
DES
PLASMAWIDERSTANDS
39
4.1
RECHNERISCHE
SIMULATION
DER
IMPEDANZ
IM
ANPASSFALL
.
40
4.2
MESSUNG
MIT
DEM
LEITUNGSREFLEKTOMETER
.
40
4.3
STROMMESSUNGEN
.
43
4.4
STROMMESSUNG
BEI
SEGMENTIERTEN
ELEKTRODEN
.
46
4.5
UEBERBLICK
DER
WICHTIGSTEN
ERGEBNISSE
.
51
8
INHALTSVERZEICHNIS
5
OPTIMIERUNGSPARAMETER
53
5.1
GEOMETRISCHE
PARAMETER
.
M
.
OO
5.1.1
ROHRGEOMETRIE
.
.
UEO
5.1.2
ELEKTRODENGEOMETRIE
.
54
5.2
ENTLADUNGSPHYSIKALISCHE
PARAMETER
.
54
5.3
ERMITTLUNG
ELEKTROPHYSIKALISCHER
GROESSEN
AUS
IMPEDANZ
UND
HF-LEISTUNG
.
55
5.4
FLUIDMECHANISCHE
PARAMETER
.
5.5
MESSUNG
VON
TEMPERATUR,
DRUCK
UND
STROEMUNGSGESCHWINDIGKEIT
.
58
6
UNTERSUCHUNG
DER
ENTLADUNGSHOMOGENITAET
6.1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
.
6.2
VERSUCHSPARAMETER
.
6.3
DIE
ROHRLAENGE
UND
DIE
HF-ZUFUEHRUNG
6.4
KURZES
ROHR
MIT
ASYMMETRISCHER
HF-ZUFUEHRUNG
6.5
KURZES
ROHR
MIT
SYMMETRISIERSPULE
.
6.6
VISUELLE
UNTERSUCHUNG
DER
STABILITAETSGRENZEN
.
6.6.1
VORBETRACHTUNG
.
6.6.2
PHAENOMENOLOGIE
DER
ENTLADUNGSFORMEN
6.6.3
EINFLUSSGROESSEN
DER
FILAMENTBILDUNG
.
6.7
SKALIERUNG
DER
GASENTLADUNG
MITTELS
IMNEDANZMESSUNGEN
6.8
ERGEBNISSE
DER
MESSUNGEN
.
6.9
UEBERBLICK
DER
WICHTIGSTEN
ERGEBNISSE
.
7
INTERFEROMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
7.1
VORBETRACHTUNGEN
ZUR
OPTISCHEN
DEFORMATION
.
7.2
VERSUCHSPARAMETER
.
7.3
MESSAUFBAU
UND
MESSPRINZIP
.
7.4
MESSERGEBNISSE
.
7.4.1
HELIXFOERMIGE
ELEKTRODEN
.
7.4.2
LINEARE
ELEKTRODEN
.
7.4.3
VERGLEICH
HELIXFOERMIGER
UND
LINEARER
ELEKTRODEN
.
7.5
UEBERBLICK
DER
WICHTIGSTEN
ERGEBNISSE
.
61
61
64
64
65
65
68
68
69
71
82
82
84
86
87
88
89
90
91
92
94
94
INHALTSVERZEICHNIS
9
8
MESSUNG
DER
KLEINSIGNALVERSTAERKUNG
98
8.1
DIE
KLEINSIGNALVERSTAERKUNG
.
98
8.2
INTERPRETATION
DER
MESSERGEBNISSE
.
99
8.3
MESSAUFBAU
UND
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
99
8.4
ENTLADUNGSROHRE
MIT
KREISFOERMIGEM
QUERSCHNITT
.
100
8.4.1
VERGLEICH
DES
FLUORESZENZLEUCHTENS
UND
DER
JO^PROSSLE
.
100
8.4.2
INTEGRALE
MESSUNGEN
.
103
8.5
ENTLADUNGSROHRE
MIT
RECHTECKFOERMIGEM
QUERSCHNITT
.
105
8.5.1
PROFILE
.
105
8.5.2
ELEKTROPHYSIKALISCHE
DEUTUNG
DER
DRUCKABHAENGIGKEIT
.
HO
8.6
UEBERBLICK
DER
WICHTIGSTEN
ERGEBNISSE
.
113
9
MESSUNG
DER
GROSSSIGNALVERSTAERKUNG
114
9.1
MESSPRINZIPIEN
.
114
9.1.1
DIE
VERSTAERKERMETHODE
.
114
9.1.2
DIE
RESONATORMETHODE
.
116
9.2
MESSAUFBAU
DER
VERSTAERKERMETHODE
.
117
9.3
MESSERGEBNISSE
DER
VERSTAERKERMETHODE
.
118
9.3.1
EINFLUSS
DER
STROEMUNGSGESCHWINDIGKEIT
.
119
9.3.2
EINFLUSS
DES
GASDRUCKS
.
120
9.3.3
EINFLUSS
DER
HF-LEISTUNG
.
126
9.4
UEBERPRUEFUNG
DER
MESSERGEBNISSE
MIT
HILFE
DER
RESONATORMETHODE
.
129
9.5
UEBERBLICK
DER
WICHTIGSTEN
ERGEBNISSE
.
130
10
ZUSAMMENFASSUNG
132
ANHANG
144
A
HF-ENTLADUNG
144
A.L
LOESUNG
DER
BEWEGUNGSGLEICHUNG
DES
ELEKTRONS
.
144
A.2
SYMMETRIERUNG
DER
ELEKTRODENSPANNUNG
.
145
B
GASGEMISCHE
146
B.L
KENNGROESSEN
FUER
GEMISCHE
IDEALER
GASE
.
146
10
INHALTSVERZEICHNIS
C
LINIENBREITEN
147
C.L
BERECHNUNG
DER
DRUCKVERBREITERUNG
.
147
C.2
BERECHNUNG
DER
DOPPLERVERBREITERUNG
.
147
D
VERSTAERKERMETHODE
148
D.L
BERUECKSICHTIGUNG
DER
LEISTUNGSDICHTEVERTEILUNG
.
148
WORTE
DES
DANKES
150 |
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