Lokale Untersuchungen der elektrischen Eigenschaften von Korngrenzen in Silizium:
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1993
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
3
2.
DAS
KORNGRENZEN-EBIC
-
EXPERIMENT
(GB-EBIC)
2.1
DER
AUFBAU
6
2.2
PHAENOMENOLOGIE
8
2.3
QUALITATIVES
MODELL
9
3.
DIFFUSIONS-ASPEKTE
DES
GB-EBIC
3.1
DIFFUSIONSMODELL
11
3.2
DIFFUSIONSLAENGENBESTIMMUNG
13
3.3
ASYMMETRIE
DER
STROMPROFILE
17
3.4.
MESSUNG
DER
LATERALEN
AUSDEHNUNG
DES
ERZEUGUNGSGEBIETES
21
4.
ELEKTRONISCHER
ASPEKT:
REKOMBINATIONSSTROM
UND
BARRIERENHOEHE
4.1
ERWEITERTES
EXPERIMENT
24
4.2
LEITWERTAENDERUNG
UND
BARRIENHOEHE
26
4.3
GB-EBIC
AN
SCHEIBEN
AUS
MULTIKRISTALLINEM
SILIZIUM
31
5
.
ELEKTRONISCHES
MODELL
FUER
DIE
REKOMBINATION
AN
KORNGRENZEN
5.1
GRUNDLAGEN
38
5.2
DAS
MODELL
VON
SEAGER
42
5.3
MODIFIKATIONEN
FUER
GB-EBIC
45
5.4
DISKUSSION
49
6.
STANDARD-EBIC
6.1
VORBEMERKUNGEN
52
6.2
EBIC
KONTRAST
UND
KORNGRENZENREKOMBINATIONSGESCHWINDIGKEIT
54
6.3
VERGLEICH
ZWISCHEN
GB-EBIC
UND
STANDARD-EBIC
59
6.4
DISKUSSION
62
7.
LOKALE
KORNGRENZEN-PHOTOLEITWERTSPEKTROSKOPIE
(GB-PCS)
7.1
EINFUEHRUNG
64
7.2
DER
MESSAUFBAU
65
7.3
THEORIE
A)
MODELL
69
B)
ZUSAMMENHANG
ZWISCHEN
MESSGROESSEN
UND
DEN
GROESSEN
71
DES
MODELLS
C)
SIMULATIONEN
FUER
VERSCHIEDENE
ZUSTANDSDICHTEN
74
7.4
AUSWERTUNG
UND
RESULTATE
78
7.5
DISKUSSION
83
8.
VERGLEICH
DER
VERSCHIEDENEN
MULTIKRISTALLINEN
AUSGANGSMATERIALIEN
87
9.
ZUSAMMENFASSUNG
94
ANHANG
A.
PROBENPRAEPARATION
96
B.
MULTIKRISTALLINES
SILIZIUM
99
C.
LOESUNG
DES
DREIDIMENSIONALEN
DIFFUSIONSPROBLEMS
103
D.
KENNLINIEN
UND
WIDERSTAENDE
DES
GB-EBIC-KREISES
107
MIT
LASTWIDERSTAND
E.
RECHNUNGEN
ZUM
MODIFIZIERTEN
SEAGERMODELL
109
LITERATUR
113 |
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