Strukturuntersuchungen mit Korrelation zu den Abscheidebedingungen an gesputterten Al 2 O 3 - und SiO 2 -Dünnfilmen:
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| Veröffentlicht: |
1992
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| Beschreibung: | Rostock, Univ., Diss., 1992. - Mikroreprod. eines Ms. 139 S. : Ill., graph. Darst. |
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