Numerische Modelle zur Prozeßsimulation und Magnetfeldberechnung im Magnetron-Sputter-Ion-Plating-Physical-Vapour-Deposition-Verfahren:
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Shaker
1993
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Reihe Werkstofftechnik
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