Numerische Modelle zur Prozeßsimulation und Magnetfeldberechnung im Magnetron-Sputter-Ion-Plating-Physical-Vapour-Deposition-Verfahren:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1993
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Reihe Werkstofftechnik
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