Integrierte Optik und Mikromechanik auf Silizium:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
163 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Dortmund, Univ., Diss. |
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