Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanisch gefertigten Beschleunigungssensors mit Kraftkompensation:
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 8]
341 |
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