Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanisch gefertigten Beschleunigungssensors mit Kraftkompensation:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 8]
341 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | X, 153 S. Ill., graph. Darst. |
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