Brodie, I., & Muray, J. J. (1992). The physics of micro, nano fabrication. Plenum Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Micro, Nano Fabrication. New York u.a: Plenum Press, 1992.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Brodie, Ivor, und Julius J. Muray. The Physics of Micro, Nano Fabrication. Plenum Press, 1992.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.