Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quarz:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Technologiezentrum Informationstechnik
1990
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| Schriftenreihe: | Technologiestudien und Marktprognose zur Mikrosystemtechnik
4 |
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| Beschreibung: | Im Buch fälschl. auch als Nr. 13 bezeichnet |
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