Reaktives Sputtern von Oxidfilmen - Herstellung dielektrischer dünner Schichten für technische Anwendungen:
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Aachen
Verl. der Augustinus-Buchh.
1993
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie
5 |
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| Physical Description: | 128 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3860730894 |
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