Reaktives Sputtern von Oxidfilmen - Herstellung dielektrischer dünner Schichten für technische Anwendungen:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Verl. der Augustinus-Buchh.
1993
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie
5 |
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| Beschreibung: | 128 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3860730894 |
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