Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1993
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Karlsruhe, Univ., Diss., 1993 |
| Beschreibung: | 144 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV008252288 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19931206 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930928s1993 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)52003794 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV008252288 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ELT 932d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 285d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Spanke, René |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen |c von René Spanke |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 144 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Karlsruhe, Univ., Diss., 1993 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Metalldampflampe |0 (DE-588)4146269-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Quecksilber |0 (DE-588)4127830-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Fotolithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4174516-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Quecksilber |0 (DE-588)4127830-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Metalldampflampe |0 (DE-588)4146269-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Fotolithografie |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4174516-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005449104 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804122644022296576 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Spanke, René |
| author_facet | Spanke, René |
| author_role | aut |
| author_sort | Spanke, René |
| author_variant | r s rs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV008252288 |
| classification_tum | ELT 932d ELT 285d |
| ctrlnum | (OCoLC)52003794 (DE-599)BVBBV008252288 |
| discipline | Energietechnik, Energiewirtschaft Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01327nam a2200385 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV008252288</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19931206 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930928s1993 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)52003794</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV008252288</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 932d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 285d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Spanke, René</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen</subfield><subfield code="c">von René Spanke</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">144 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Karlsruhe, Univ., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metalldampflampe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4146269-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Quecksilber</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127830-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Fotolithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174516-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Quecksilber</subfield><subfield code="0">(DE-588)4127830-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Metalldampflampe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4146269-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Fotolithografie</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174516-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005449104</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV008252288 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:17:09Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005449104 |
| oclc_num | 52003794 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-11 |
| physical | 144 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Spanke, René Verfasser aut Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen von René Spanke 1993 144 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Karlsruhe, Univ., Diss., 1993 Metalldampflampe (DE-588)4146269-5 gnd rswk-swf Quecksilber (DE-588)4127830-6 gnd rswk-swf Fotolithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4174516-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Quecksilber (DE-588)4127830-6 s Metalldampflampe (DE-588)4146269-5 s Fotolithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4174516-4 s DE-604 |
| spellingShingle | Spanke, René Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen Metalldampflampe (DE-588)4146269-5 gnd Quecksilber (DE-588)4127830-6 gnd Fotolithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4174516-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4146269-5 (DE-588)4127830-6 (DE-588)4174516-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen |
| title_auth | Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen |
| title_exact_search | Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen |
| title_full | Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen von René Spanke |
| title_fullStr | Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen von René Spanke |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen von René Spanke |
| title_short | Untersuchungen an gepulsten Quecksilber-Kurzbogenlampen für UV-lithografische Anwendungen |
| title_sort | untersuchungen an gepulsten quecksilber kurzbogenlampen fur uv lithografische anwendungen |
| topic | Metalldampflampe (DE-588)4146269-5 gnd Quecksilber (DE-588)4127830-6 gnd Fotolithografie Halbleitertechnologie (DE-588)4174516-4 gnd |
| topic_facet | Metalldampflampe Quecksilber Fotolithografie Halbleitertechnologie Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT spankerene untersuchungenangepulstenquecksilberkurzbogenlampenfuruvlithografischeanwendungen |