Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1992
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | 123 S. graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV007706685 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19930928 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930421s1992 d||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 942024044 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)257176978 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV007706685 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-355 |a DE-12 |a DE-29T |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a UP 3150 |0 (DE-625)146377: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Kuhn, Wolf Stefan |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten |c vorgelegt von Wolf Stefan Kuhn |
| 264 | 1 | |c 1992 | |
| 300 | |a 123 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Regensburg, Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Zinktellurid |0 (DE-588)4190878-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallschicht |0 (DE-588)4252858-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Zinkselenid |0 (DE-588)4190874-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Zinkselenid |0 (DE-588)4190874-0 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Metallschicht |0 (DE-588)4252858-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Zinktellurid |0 (DE-588)4190878-8 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Gasphasenepitaxie |0 (DE-588)4156040-1 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005061511&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005061511 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1807230385206067200 |
|---|---|
| adam_text |
I
NHALT
1
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
3
2
EIGENSCHAFTEN
VON
ZNTE
UND
ZNSE
6
2.1
PHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
6
2.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
7
2.3
DAS
DOTIERUNGS
UND
KOMPENSATIONSPROBLEM
.
8
2.3.1
UEBERSICHT
DER
DOTIERELEMENTE
.
8
2.3.2
DIE
KLASSISCHE
SELBSTKOMPENSATION
.
9
2.3.3
SUBSTITUTIONSENERGIEN
VON
STOERSTELLEN
.
11
2.3.4
DOTIERSTOFFLOESLICHKEIT
.
12
2.3.5
WEITERE
ASPEKTE
ZUR
DOTIERUNG
.
13
2.4
AKTIVIERUNGSENERGIEN
FLACHER
STOERSTELLEN
.
14
2.4.1
GRUNDLEGENDE
ASPEKTE
.
14
2.4.2
KONZENTRATIONSABHAENGIGKEIT
.
16
2.4.3
ABHAENGIGKEIT
VOM
MESSVERFAHREN
.
17
3
ELEKTRONISCHE
TRANSPORTEIGENSCHAFTEN
20
3.1
LADUNGSTRAEGERSTATISTIK
VON
HALBLEITERN
.
20
3.2
LEITFAEHIGKEIT
IN
ELEKTRISCHEN
UND
MAGNETISCHEN
FELDERN
.
22
3.3
STREUUNG
AN
IONISIERTEN
STOERSTELLEN
.
23
4
TEMPERATURABHAENGIGE
HALLMESSUNGEN
26
4.1
DAS
VAN
DER
PAUW
-
MESSVERFAHREN
.
26
4.2
EXPERIMENTELLE
REALISIERUNG
.
28
4.2.1
APPARATIVER
AUFBAU
.
28
4.2.2
ASPEKTE
ZUR
MESSPROBLEMATIK
.
29
4.2.3
PROBENPRAEPARATION
.
30
4.2.4
FEHLERDISKUSSION
.
32
5
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
EPITAXIE
34
5.1
DAS
MOVPE-SYSTEM
.
34
5.1.1
DIE
GASVERSORGUNG
UND
-MISCHUNG
.
35
5.1.2
DER
REAKTOR
.
35
5.2
UEBERSICHT
UEBER
DEN
MOVPE-PROZESS
.
37
2
I
NHALT
5.3
DIE
METALLORGANYLE
.
40
5.3.1
HERSTELLUNG,
SICHERHEITSASPEKTE
UND
ENTSORGUNG
.
40
5.3.2
GEFORDERTE
CHEMISCHE
UND
PHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
41
5.3.3
VERWENDETE
METALLORGANYLE
.
45
5.4
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNG
DER
WACHSTUMSRATEN
.
47
5.5
THERMODYNAMIK
.
53
5.6
KINETIK
.
58
5.6.1
GRUNDLAGEN
DER
CHEMISCHEN
KINETIK
.
59
5.6.2
REAKTIONEN
IN
DER
MOVPE
.
62
5.6.3
KINETISCHE
DATEN
DER
UNTERSUCHTEN
METALLORGANYLE
.
64
5.6.4
AUSWERTUNG
DES
KINETISCH
BEGRENZTEN
WACHSTUMS
.
70
5.7
HYDRODYNAMIK
UND
MASSENTRANSPORT
.
80
5.7.1
GRUNDLEGENDE
ASPEKTE
.
80
5.7.2
ERGEBNISSE
DER
NUMERISCHEN
SIMULATION
.
86
5.7.3
ERGEBNISSE
DER
ANALYTISCHEN
BERECHNUNG
.
89
5.8
ABSCHLIESSENDE
ANALYSE
DER
EPITAXIE
.
90
6
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
94
6.1
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
UND
DOTIERUNGSERGEBNISSE
.
94
6.1.1
SUBSTRATE
UND
VORBEREITUNG
.
94
6.1.2
ZNSE-SCHICHTEN
.
94
6.1.3
STRUKTUR
DER
ZNTE-SCHICHTEN
.
96
6.1.4
UNDOTIERTE
ZNTE-SCHICHTEN
.
97
6.1.5
DOTIERTE
ZNTE-SCHICHTEN
.
100
6.2
TEMPERATURABHAENGIGE
HALLMESSUNGEN
AN
ZNTE:P
.
103
6.2.1
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATIONEN
.
103
6.2.2
BEWEGLICHKEITEN
.
104
6.3
AKTIVIERUNGSENERGIEN
FLACHER
STOERSTELLEN
IN
ZNTE
.
106
7
ZUSAMMENFASSUNG
109
8
LITERATURVERZEICHNIS
111 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Kuhn, Wolf Stefan |
| author_facet | Kuhn, Wolf Stefan |
| author_role | aut |
| author_sort | Kuhn, Wolf Stefan |
| author_variant | w s k ws wsk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV007706685 |
| classification_rvk | UP 3150 |
| ctrlnum | (OCoLC)257176978 (DE-599)BVBBV007706685 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV007706685</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19930928</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1992 d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">942024044</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)257176978</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007706685</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3150</subfield><subfield code="0">(DE-625)146377:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kuhn, Wolf Stefan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Wolf Stefan Kuhn</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">123 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Regensburg, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zinktellurid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190878-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4252858-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zinkselenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190874-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Zinkselenid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190874-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Metallschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4252858-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Zinktellurid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4190878-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Gasphasenepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4156040-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005061511&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005061511</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV007706685 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-13T00:33:20Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005061511 |
| oclc_num | 257176978 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-29T DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-29T DE-11 DE-188 |
| physical | 123 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1992 |
| publishDateSearch | 1992 |
| publishDateSort | 1992 |
| record_format | marc |
| spelling | Kuhn, Wolf Stefan Verfasser aut Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten vorgelegt von Wolf Stefan Kuhn 1992 123 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Regensburg, Univ., Diss. Zinktellurid (DE-588)4190878-8 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Metallschicht (DE-588)4252858-6 gnd rswk-swf Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd rswk-swf Zinkselenid (DE-588)4190874-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Zinkselenid (DE-588)4190874-0 s Metallschicht (DE-588)4252858-6 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 s DE-604 Zinktellurid (DE-588)4190878-8 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005061511&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Kuhn, Wolf Stefan Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten Zinktellurid (DE-588)4190878-8 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Metallschicht (DE-588)4252858-6 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd Zinkselenid (DE-588)4190874-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4190878-8 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4252858-6 (DE-588)4156040-1 (DE-588)4190874-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten |
| title_auth | Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten |
| title_exact_search | Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten |
| title_full | Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten vorgelegt von Wolf Stefan Kuhn |
| title_fullStr | Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten vorgelegt von Wolf Stefan Kuhn |
| title_full_unstemmed | Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten vorgelegt von Wolf Stefan Kuhn |
| title_short | Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten |
| title_sort | theoretische und experimentelle untersuchungen zu movpe dotierung und eigenschaften von znte und znse schichten |
| topic | Zinktellurid (DE-588)4190878-8 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Metallschicht (DE-588)4252858-6 gnd Gasphasenepitaxie (DE-588)4156040-1 gnd Zinkselenid (DE-588)4190874-0 gnd |
| topic_facet | Zinktellurid Dünne Schicht Metallschicht Gasphasenepitaxie Zinkselenid Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=005061511&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT kuhnwolfstefan theoretischeundexperimentelleuntersuchungenzumovpedotierungundeigenschaftenvonznteundznseschichten |