Theoretische und experimentelle Untersuchungen zu MOVPE, Dotierung und Eigenschaften von ZnTe- und ZnSe-Schichten:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1992
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I
NHALT
1
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
3
2
EIGENSCHAFTEN
VON
ZNTE
UND
ZNSE
6
2.1
PHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
6
2.2
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
7
2.3
DAS
DOTIERUNGS
UND
KOMPENSATIONSPROBLEM
.
8
2.3.1
UEBERSICHT
DER
DOTIERELEMENTE
.
8
2.3.2
DIE
KLASSISCHE
SELBSTKOMPENSATION
.
9
2.3.3
SUBSTITUTIONSENERGIEN
VON
STOERSTELLEN
.
11
2.3.4
DOTIERSTOFFLOESLICHKEIT
.
12
2.3.5
WEITERE
ASPEKTE
ZUR
DOTIERUNG
.
13
2.4
AKTIVIERUNGSENERGIEN
FLACHER
STOERSTELLEN
.
14
2.4.1
GRUNDLEGENDE
ASPEKTE
.
14
2.4.2
KONZENTRATIONSABHAENGIGKEIT
.
16
2.4.3
ABHAENGIGKEIT
VOM
MESSVERFAHREN
.
17
3
ELEKTRONISCHE
TRANSPORTEIGENSCHAFTEN
20
3.1
LADUNGSTRAEGERSTATISTIK
VON
HALBLEITERN
.
20
3.2
LEITFAEHIGKEIT
IN
ELEKTRISCHEN
UND
MAGNETISCHEN
FELDERN
.
22
3.3
STREUUNG
AN
IONISIERTEN
STOERSTELLEN
.
23
4
TEMPERATURABHAENGIGE
HALLMESSUNGEN
26
4.1
DAS
VAN
DER
PAUW
-
MESSVERFAHREN
.
26
4.2
EXPERIMENTELLE
REALISIERUNG
.
28
4.2.1
APPARATIVER
AUFBAU
.
28
4.2.2
ASPEKTE
ZUR
MESSPROBLEMATIK
.
29
4.2.3
PROBENPRAEPARATION
.
30
4.2.4
FEHLERDISKUSSION
.
32
5
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
EPITAXIE
34
5.1
DAS
MOVPE-SYSTEM
.
34
5.1.1
DIE
GASVERSORGUNG
UND
-MISCHUNG
.
35
5.1.2
DER
REAKTOR
.
35
5.2
UEBERSICHT
UEBER
DEN
MOVPE-PROZESS
.
37
2
I
NHALT
5.3
DIE
METALLORGANYLE
.
40
5.3.1
HERSTELLUNG,
SICHERHEITSASPEKTE
UND
ENTSORGUNG
.
40
5.3.2
GEFORDERTE
CHEMISCHE
UND
PHYSIKALISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
41
5.3.3
VERWENDETE
METALLORGANYLE
.
45
5.4
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNG
DER
WACHSTUMSRATEN
.
47
5.5
THERMODYNAMIK
.
53
5.6
KINETIK
.
58
5.6.1
GRUNDLAGEN
DER
CHEMISCHEN
KINETIK
.
59
5.6.2
REAKTIONEN
IN
DER
MOVPE
.
62
5.6.3
KINETISCHE
DATEN
DER
UNTERSUCHTEN
METALLORGANYLE
.
64
5.6.4
AUSWERTUNG
DES
KINETISCH
BEGRENZTEN
WACHSTUMS
.
70
5.7
HYDRODYNAMIK
UND
MASSENTRANSPORT
.
80
5.7.1
GRUNDLEGENDE
ASPEKTE
.
80
5.7.2
ERGEBNISSE
DER
NUMERISCHEN
SIMULATION
.
86
5.7.3
ERGEBNISSE
DER
ANALYTISCHEN
BERECHNUNG
.
89
5.8
ABSCHLIESSENDE
ANALYSE
DER
EPITAXIE
.
90
6
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
94
6.1
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
UND
DOTIERUNGSERGEBNISSE
.
94
6.1.1
SUBSTRATE
UND
VORBEREITUNG
.
94
6.1.2
ZNSE-SCHICHTEN
.
94
6.1.3
STRUKTUR
DER
ZNTE-SCHICHTEN
.
96
6.1.4
UNDOTIERTE
ZNTE-SCHICHTEN
.
97
6.1.5
DOTIERTE
ZNTE-SCHICHTEN
.
100
6.2
TEMPERATURABHAENGIGE
HALLMESSUNGEN
AN
ZNTE:P
.
103
6.2.1
LADUNGSTRAEGERKONZENTRATIONEN
.
103
6.2.2
BEWEGLICHKEITEN
.
104
6.3
AKTIVIERUNGSENERGIEN
FLACHER
STOERSTELLEN
IN
ZNTE
.
106
7
ZUSAMMENFASSUNG
109
8
LITERATURVERZEICHNIS
111 |
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