Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1989
|
| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
4702 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Karlsruhe, Univ., Diss. |
| Beschreibung: | 95 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV007680110 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19940302 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930421s1989 m||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)256015136 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV007680110 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-29T | ||
| 100 | 1 | |a Anderer, Boris |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |c von Boris Anderer |
| 264 | 1 | |c 1989 | |
| 300 | |a 95 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |v 4702 | |
| 500 | |a Karlsruhe, Univ., Diss. | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Gitterspektrograph |0 (DE-588)4157391-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wellenlängenmultiplexer |0 (DE-588)4212982-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Beugungsgitter |0 (DE-588)4122915-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Wellenlängenmultiplexer |0 (DE-588)4212982-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Beugungsgitter |0 (DE-588)4122915-0 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Wellenlängenmultiplexer |0 (DE-588)4212982-5 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Gitterspektrograph |0 (DE-588)4157391-2 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |v 4702 |w (DE-604)BV000904814 |9 4702 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005038468 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804122036952367104 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Anderer, Boris |
| author_facet | Anderer, Boris |
| author_role | aut |
| author_sort | Anderer, Boris |
| author_variant | b a ba |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV007680110 |
| ctrlnum | (OCoLC)256015136 (DE-599)BVBBV007680110 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01862nam a2200457 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV007680110</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19940302 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1989 m||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)256015136</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007680110</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Anderer, Boris</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter</subfield><subfield code="c">von Boris Anderer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1989</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">95 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK</subfield><subfield code="v">4702</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Karlsruhe, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gitterspektrograph</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157391-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wellenlängenmultiplexer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4212982-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beugungsgitter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122915-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Wellenlängenmultiplexer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4212982-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Beugungsgitter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122915-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Wellenlängenmultiplexer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4212982-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Gitterspektrograph</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157391-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK</subfield><subfield code="v">4702</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000904814</subfield><subfield code="9">4702</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005038468</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV007680110 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:07:30Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005038468 |
| oclc_num | 256015136 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T |
| physical | 95 S. |
| publishDate | 1989 |
| publishDateSearch | 1989 |
| publishDateSort | 1989 |
| record_format | marc |
| series | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |
| series2 | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |
| spelling | Anderer, Boris Verfasser aut Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter von Boris Anderer 1989 95 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 4702 Karlsruhe, Univ., Diss. Gitterspektrograph (DE-588)4157391-2 gnd rswk-swf Wellenlängenmultiplexer (DE-588)4212982-5 gnd rswk-swf Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd rswk-swf Beugungsgitter (DE-588)4122915-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 s Wellenlängenmultiplexer (DE-588)4212982-5 s Beugungsgitter (DE-588)4122915-0 s 1\p DE-604 Gitterspektrograph (DE-588)4157391-2 s 2\p DE-604 Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 4702 (DE-604)BV000904814 4702 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Anderer, Boris Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK Gitterspektrograph (DE-588)4157391-2 gnd Wellenlängenmultiplexer (DE-588)4212982-5 gnd Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Beugungsgitter (DE-588)4122915-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4157391-2 (DE-588)4212982-5 (DE-588)4178314-1 (DE-588)4122915-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_auth | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_exact_search | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_full | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter von Boris Anderer |
| title_fullStr | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter von Boris Anderer |
| title_full_unstemmed | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter von Boris Anderer |
| title_short | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_sort | grundlagen fur die rontgentiefenlithographische herstellung eines planaren wellenlangen demultiplexers mit selbstfokussierendem reflexionsbeugungsgitter |
| topic | Gitterspektrograph (DE-588)4157391-2 gnd Wellenlängenmultiplexer (DE-588)4212982-5 gnd Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Beugungsgitter (DE-588)4122915-0 gnd |
| topic_facet | Gitterspektrograph Wellenlängenmultiplexer Röntgenlithografie Beugungsgitter Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV000904814 |
| work_keys_str_mv | AT andererboris grundlagenfurdierontgentiefenlithographischeherstellungeinesplanarenwellenlangendemultiplexersmitselbstfokussierendemreflexionsbeugungsgitter |