(1986). Mehrlagen-Resistsysteme für optische- und Elektronenstrahl-Lithographie: Von Heinz Beneking ... = Report-Nr. BMFT-FB-T 86-045 = Multilevel resist systems for optical and electron beam lithography. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mehrlagen-Resistsysteme Für Optische- Und Elektronenstrahl-Lithographie: Von Heinz Beneking ... = Report-Nr. BMFT-FB-T 86-045 = Multilevel Resist Systems for Optical and Electron Beam Lithography. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1986.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mehrlagen-Resistsysteme Für Optische- Und Elektronenstrahl-Lithographie: Von Heinz Beneking ... = Report-Nr. BMFT-FB-T 86-045 = Multilevel Resist Systems for Optical and Electron Beam Lithography. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1986.