Mehrlagen-Resistsysteme für optische- und Elektronenstrahl-Lithographie: von Heinz Beneking ... = Report-Nr. BMFT-FB-T 86-045 = Multilevel resist systems for optical and electron beam lithography
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| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1986
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