Tables of ion implantation spatial distributions:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Russian
Veröffentlicht: New York u.a. Gordon and Breach 1986
Ausgabe:Engl. ed., rev. and enlarged
Schlagworte:
Beschreibung:Aus d. Russ. übers. - EST: Tablicy parametrov prostranstvennogo raspredelenija ionno-implantirovannych primesej <engl.>
Beschreibung:VIII, 462 S. graph. Darst.
ISBN:2881240712

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