Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1986
|
| Ausgabe: | Als Ms gedr. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Application of secondary ion mass spectrometry in microelectronics |
| Beschreibung: | 51 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV007636661 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930421s1986 d||| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74786026 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV007636661 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-355 | ||
| 100 | 1 | |a Eichinger, Peter |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| 246 | 1 | 3 | |a Report-Nr. BMFT-FB-T 86-034 |
| 250 | |a Als Ms gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1986 | |
| 300 | |a 51 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Application of secondary ion mass spectrometry in microelectronics | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Sekundärionen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4077346-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |a Halbleiteranalytik |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 689 | 0 | 0 | |a Halbleiteranalytik |A f |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Sekundärionen-Massenspektrometrie |0 (DE-588)4077346-2 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Mikroelektronik |0 (DE-588)4039207-7 |D s |
| 689 | 1 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005000841 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804121981176512512 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Eichinger, Peter |
| author_facet | Eichinger, Peter |
| author_role | aut |
| author_sort | Eichinger, Peter |
| author_variant | p e pe |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV007636661 |
| ctrlnum | (OCoLC)74786026 (DE-599)BVBBV007636661 |
| edition | Als Ms gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01431nam a2200385 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV007636661</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1986 d||| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74786026</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007636661</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Eichinger, Peter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Report-Nr. BMFT-FB-T 86-034</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1986</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">51 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Application of secondary ion mass spectrometry in microelectronics</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sekundärionen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077346-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Halbleiteranalytik</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiteranalytik</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Sekundärionen-Massenspektrometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077346-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Mikroelektronik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4039207-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005000841</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | Halbleiteranalytik gnd |
| genre_facet | Halbleiteranalytik |
| id | DE-604.BV007636661 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:06:37Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005000841 |
| oclc_num | 74786026 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR |
| physical | 51 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1986 |
| publishDateSearch | 1986 |
| publishDateSort | 1986 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| spelling | Eichinger, Peter Verfasser aut Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik Report-Nr. BMFT-FB-T 86-034 Als Ms gedr. Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1986 51 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Application of secondary ion mass spectrometry in microelectronics Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd rswk-swf Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd rswk-swf Halbleiteranalytik gnd rswk-swf Halbleiteranalytik f DE-604 Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 s Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 s 1\p DE-604 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Eichinger, Peter Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077346-2 (DE-588)4039207-7 |
| title | Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| title_alt | Report-Nr. BMFT-FB-T 86-034 |
| title_auth | Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| title_exact_search | Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| title_full | Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| title_fullStr | Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| title_full_unstemmed | Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| title_short | Anwendung der Sekundärionen-Massenspektrometrie in der Mikroelektronik |
| title_sort | anwendung der sekundarionen massenspektrometrie in der mikroelektronik |
| topic | Sekundärionen-Massenspektrometrie (DE-588)4077346-2 gnd Mikroelektronik (DE-588)4039207-7 gnd |
| topic_facet | Sekundärionen-Massenspektrometrie Mikroelektronik Halbleiteranalytik |
| work_keys_str_mv | AT eichingerpeter anwendungdersekundarionenmassenspektrometrieindermikroelektronik AT eichingerpeter reportnrbmftfbt86034 |