Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung:
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1985
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Subjects: | |
| Item Description: | Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Development of humidity sensors in tantalum - thin film technology |
| Physical Description: | 118, 3, 8 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV007633950 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20051209 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930421s1985 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74761885 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV007633950 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-355 | ||
| 100 | 1 | |a Borgwardt, Christian |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung |c Christian Borgwardt ; Traugott Kallfaß ; Ernst Lüder* |
| 246 | 1 | 3 | |a Report-Nr. BMFT-FB-T 85-175 |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1985 | |
| 300 | |a 118, 3, 8 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Development of humidity sensors in tantalum - thin film technology | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Feuchtigkeitsmessung |0 (DE-588)4016962-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dickschichttechnik |0 (DE-588)4012133-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Taupunkt |0 (DE-588)4191737-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sensor |0 (DE-588)4038824-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Tantal |0 (DE-588)4059023-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Feuchtigkeitssensor |0 (DE-588)4154251-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Taupunkt |0 (DE-588)4191737-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Sensor |0 (DE-588)4038824-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Tantal |0 (DE-588)4059023-9 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Feuchtigkeitssensor |0 (DE-588)4154251-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Tantal |0 (DE-588)4059023-9 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Feuchtigkeitsmessung |0 (DE-588)4016962-5 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Dickschichttechnik |0 (DE-588)4012133-1 |D s |
| 689 | 2 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Feuchtigkeitsmessung |0 (DE-588)4016962-5 |D s |
| 689 | 3 | 1 | |a Dünnschichttechnik |0 (DE-588)4136339-5 |D s |
| 689 | 3 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Kallfaß, Traugott |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Lüder, Ernst |e Verfasser |4 aut | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004998350 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1804121956098768896 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Borgwardt, Christian Kallfaß, Traugott Lüder, Ernst |
| author_facet | Borgwardt, Christian Kallfaß, Traugott Lüder, Ernst |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Borgwardt, Christian |
| author_variant | c b cb t k tk e l el |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV007633950 |
| ctrlnum | (OCoLC)74761885 (DE-599)BVBBV007633950 |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02415nam a2200589 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV007633950</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20051209 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1985 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74761885</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007633950</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Borgwardt, Christian</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung</subfield><subfield code="c">Christian Borgwardt ; Traugott Kallfaß ; Ernst Lüder*</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Report-Nr. BMFT-FB-T 85-175</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1985</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">118, 3, 8 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Development of humidity sensors in tantalum - thin film technology</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Feuchtigkeitsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4016962-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dickschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012133-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Taupunkt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191737-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038824-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Tantal</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059023-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Feuchtigkeitssensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154251-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Taupunkt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191737-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Sensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038824-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Tantal</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059023-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Feuchtigkeitssensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4154251-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Tantal</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059023-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Feuchtigkeitsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4016962-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Dickschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012133-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Feuchtigkeitsmessung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4016962-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="1"><subfield code="a">Dünnschichttechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136339-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kallfaß, Traugott</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lüder, Ernst</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004998350</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV007633950 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:06:13Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004998350 |
| oclc_num | 74761885 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR |
| physical | 118, 3, 8 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1985 |
| publishDateSearch | 1985 |
| publishDateSort | 1985 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| spelling | Borgwardt, Christian Verfasser aut Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung Christian Borgwardt ; Traugott Kallfaß ; Ernst Lüder* Report-Nr. BMFT-FB-T 85-175 Als Ms. gedr. Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1985 118, 3, 8 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Development of humidity sensors in tantalum - thin film technology Feuchtigkeitsmessung (DE-588)4016962-5 gnd rswk-swf Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 gnd rswk-swf Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd rswk-swf Taupunkt (DE-588)4191737-6 gnd rswk-swf Sensor (DE-588)4038824-4 gnd rswk-swf Tantal (DE-588)4059023-9 gnd rswk-swf Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 gnd rswk-swf Taupunkt (DE-588)4191737-6 s Sensor (DE-588)4038824-4 s Tantal (DE-588)4059023-9 s Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 s DE-604 Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 s Feuchtigkeitsmessung (DE-588)4016962-5 s Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 s 1\p DE-604 2\p DE-604 Kallfaß, Traugott Verfasser aut Lüder, Ernst Verfasser aut 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Borgwardt, Christian Kallfaß, Traugott Lüder, Ernst Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung Feuchtigkeitsmessung (DE-588)4016962-5 gnd Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Taupunkt (DE-588)4191737-6 gnd Sensor (DE-588)4038824-4 gnd Tantal (DE-588)4059023-9 gnd Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4016962-5 (DE-588)4012133-1 (DE-588)4136339-5 (DE-588)4191737-6 (DE-588)4038824-4 (DE-588)4059023-9 (DE-588)4154251-4 |
| title | Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung |
| title_alt | Report-Nr. BMFT-FB-T 85-175 |
| title_auth | Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung |
| title_exact_search | Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung |
| title_full | Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung Christian Borgwardt ; Traugott Kallfaß ; Ernst Lüder* |
| title_fullStr | Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung Christian Borgwardt ; Traugott Kallfaß ; Ernst Lüder* |
| title_full_unstemmed | Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung Christian Borgwardt ; Traugott Kallfaß ; Ernst Lüder* |
| title_short | Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung |
| title_sort | entwicklung neuer dunn und dickfilmschichten fur die feuchtemessung |
| topic | Feuchtigkeitsmessung (DE-588)4016962-5 gnd Dickschichttechnik (DE-588)4012133-1 gnd Dünnschichttechnik (DE-588)4136339-5 gnd Taupunkt (DE-588)4191737-6 gnd Sensor (DE-588)4038824-4 gnd Tantal (DE-588)4059023-9 gnd Feuchtigkeitssensor (DE-588)4154251-4 gnd |
| topic_facet | Feuchtigkeitsmessung Dickschichttechnik Dünnschichttechnik Taupunkt Sensor Tantal Feuchtigkeitssensor |
| work_keys_str_mv | AT borgwardtchristian entwicklungneuerdunnunddickfilmschichtenfurdiefeuchtemessung AT kallfaßtraugott entwicklungneuerdunnunddickfilmschichtenfurdiefeuchtemessung AT luderernst entwicklungneuerdunnunddickfilmschichtenfurdiefeuchtemessung AT borgwardtchristian reportnrbmftfbt85175 AT kallfaßtraugott reportnrbmftfbt85175 AT luderernst reportnrbmftfbt85175 |