Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung:
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1985
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
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Beschreibung: | Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Development of humidity sensors in tantalum - thin film technology |
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