Direktschreibende Elektronenstrahllithographie:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1985
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
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| Beschreibung: | Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Direct writing electron beam lithography |
| Beschreibung: | 215 S. Ill., graph. Darst. |
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