CW-laserinduzierte Rekristallisation ionenimplantierter amorphisierter(100) Silizium-Oberflächenschichten:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hedler, Harry (VerfasserIn)
Format: Mikrofilm Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: 1984
Schlagworte:
Beschreibung:Jena, Univ., Diss.
Beschreibung:3 Mikrofiches 24x

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