Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Mikrofilm Buch |
Sprache: | Undetermined |
Veröffentlicht: |
1983
|
Schlagworte: | |
Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss. |
Beschreibung: | VI, 165 S. Ill., graph. Darst. 2 Mikrofiches 24x |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV007623109 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 00000000000000.0 | ||
007 | he|uuuuuuuuuu | ||
008 | 930421s1983 ad|| bm||| 00||| und d | ||
035 | |a (OCoLC)632356209 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV007623109 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | |a und | ||
049 | |a DE-355 | ||
100 | 1 | |a Obermeier, Ernst |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
264 | 1 | |c 1983 | |
300 | |a VI, 165 S. |b Ill., graph. Darst. |c 2 Mikrofiches 24x | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b h |2 rdamedia | ||
338 | |b he |2 rdacarrier | ||
500 | |a München, Techn. Univ., Diss. | ||
650 | 0 | 7 | |a Drucksensor |0 (DE-588)4150765-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Halbleiterdrucksensor |0 (DE-588)4158797-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Kristall |0 (DE-588)4033209-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Halbleiterdrucksensor |0 (DE-588)4158797-2 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
689 | 0 | 2 | |a Kristall |0 (DE-588)4033209-3 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Drucksensor |0 (DE-588)4150765-4 |D s |
689 | 1 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
689 | 1 | 2 | |a Kristall |0 (DE-588)4033209-3 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004988438 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804121942149562368 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Obermeier, Ernst |
author_facet | Obermeier, Ernst |
author_role | aut |
author_sort | Obermeier, Ernst |
author_variant | e o eo |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV007623109 |
ctrlnum | (OCoLC)632356209 (DE-599)BVBBV007623109 |
format | Microfilm Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01426nam a2200409 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV007623109</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">he|uuuuuuuuuu</controlfield><controlfield tag="008">930421s1983 ad|| bm||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)632356209</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007623109</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Obermeier, Ernst</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1983</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VI, 165 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="c">2 Mikrofiches 24x</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">h</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">he</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">München, Techn. Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Drucksensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150765-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleiterdrucksensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158797-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4033209-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiterdrucksensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158797-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Kristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4033209-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Drucksensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4150765-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Kristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4033209-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004988438</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
genre_facet | Hochschulschrift |
id | DE-604.BV007623109 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T17:05:59Z |
institution | BVB |
language | Undetermined |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004988438 |
oclc_num | 632356209 |
open_access_boolean | |
owner | DE-355 DE-BY-UBR |
owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR |
physical | VI, 165 S. Ill., graph. Darst. 2 Mikrofiches 24x |
publishDate | 1983 |
publishDateSearch | 1983 |
publishDateSort | 1983 |
record_format | marc |
spelling | Obermeier, Ernst Verfasser aut Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten 1983 VI, 165 S. Ill., graph. Darst. 2 Mikrofiches 24x txt rdacontent h rdamedia he rdacarrier München, Techn. Univ., Diss. Drucksensor (DE-588)4150765-4 gnd rswk-swf Halbleiterdrucksensor (DE-588)4158797-2 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Kristall (DE-588)4033209-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Halbleiterdrucksensor (DE-588)4158797-2 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Kristall (DE-588)4033209-3 s DE-604 Drucksensor (DE-588)4150765-4 s |
spellingShingle | Obermeier, Ernst Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten Drucksensor (DE-588)4150765-4 gnd Halbleiterdrucksensor (DE-588)4158797-2 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Kristall (DE-588)4033209-3 gnd |
subject_GND | (DE-588)4150765-4 (DE-588)4158797-2 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4033209-3 (DE-588)4113937-9 |
title | Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
title_auth | Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
title_exact_search | Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
title_full | Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
title_fullStr | Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
title_full_unstemmed | Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
title_short | Entwicklung von neuartigen Halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten |
title_sort | entwicklung von neuartigen halbleiterdrucksensoren mittels polykristalliner siliziumschichten |
topic | Drucksensor (DE-588)4150765-4 gnd Halbleiterdrucksensor (DE-588)4158797-2 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Kristall (DE-588)4033209-3 gnd |
topic_facet | Drucksensor Halbleiterdrucksensor Silicium Kristall Hochschulschrift |
work_keys_str_mv | AT obermeierernst entwicklungvonneuartigenhalbleiterdrucksensorenmittelspolykristallinersiliziumschichten |