Ionenstrahllithographie:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | English German |
| Veröffentlicht: |
Bonn
Bundesmin. für Forschung u. Technologie
1984
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
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| Beschreibung: | Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Ion-beam lithography |
| Beschreibung: | 95 S. Ill., graph. Darst. |
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