Fritzsche, C., & Rothemund, W. (1984). Voruntersuchung über trockene Resisttechniken zur Elektronenstrahl-Lithographie (Als Ms. gedr.). Bundesmin. für Forschung u. Technologie.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Fritzsche, Christian, und Wolfram Rothemund. Voruntersuchung über Trockene Resisttechniken Zur Elektronenstrahl-Lithographie. Als Ms. gedr. Bonn: Bundesmin. für Forschung u. Technologie, 1984.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Fritzsche, Christian, und Wolfram Rothemund. Voruntersuchung über Trockene Resisttechniken Zur Elektronenstrahl-Lithographie. Als Ms. gedr. Bundesmin. für Forschung u. Technologie, 1984.
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