Die Strukturverkleinerung der MOS-Technik: Unters. zu d. Grenzen u. Alternativen d. ähnlichen Verkleinerung
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Friedrich, Hans (VerfasserIn)
Format: Mikrofilm Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: 1982
Ausgabe:[Mikroficheausg.]
Schlagworte:
Beschreibung:München, Techn. Univ., Diss., 1982. - Mikroficheausg.: 1 Mikrofiche : 24x
Beschreibung:85 Bl. Ill., graph. Darst.

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