Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1981
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 -
81,66 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 123 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV007556221 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930421s1981 |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74663836 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV007556221 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-355 |a DE-210 | ||
| 100 | 1 | |a Bernt, Helmut |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung |c Helmut Bernt ; Christoph Werner* |
| 246 | 1 | 3 | |a Report-Nummer BMFT-FB-T 81-066 |
| 264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1981 | |
| 300 | |a 123 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 - |v 81,66 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4193812-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Grenzschicht |0 (DE-588)4022005-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumoxide |0 (DE-588)4181398-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Grenzflächenpotenzial |0 (DE-588)4218725-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Siliciumoxide |0 (DE-588)4181398-4 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Grenzschicht |0 (DE-588)4022005-9 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Elektrische Eigenschaft |0 (DE-588)4193812-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Siliciumoxide |0 (DE-588)4181398-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Grenzflächenpotenzial |0 (DE-588)4218725-4 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Werner, Christoph |e Verfasser |4 aut | |
| 810 | 2 | |a Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 - |t Deutschland <Bundesrepublik> |v 81,66 |w (DE-604)BV000004400 |9 81,66 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004927432 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804121856575275008 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Bernt, Helmut Werner, Christoph |
| author_facet | Bernt, Helmut Werner, Christoph |
| author_role | aut aut |
| author_sort | Bernt, Helmut |
| author_variant | h b hb c w cw |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV007556221 |
| ctrlnum | (OCoLC)74663836 (DE-599)BVBBV007556221 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02009nam a2200469 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV007556221</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1981 |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74663836</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007556221</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Bernt, Helmut</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung</subfield><subfield code="c">Helmut Bernt ; Christoph Werner*</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Report-Nummer BMFT-FB-T 81-066</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1981</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">123 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 -</subfield><subfield code="v">81,66</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193812-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Grenzschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4022005-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumoxide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181398-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Grenzflächenpotenzial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4218725-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Siliciumoxide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181398-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Grenzschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4022005-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Elektrische Eigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193812-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumoxide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4181398-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Grenzflächenpotenzial</subfield><subfield code="0">(DE-588)4218725-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Werner, Christoph</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 -</subfield><subfield code="t">Deutschland <Bundesrepublik></subfield><subfield code="v">81,66</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">81,66</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004927432</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV007556221 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:04:38Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004927432 |
| oclc_num | 74663836 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-210 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-210 |
| physical | 123 S. |
| publishDate | 1981 |
| publishDateSearch | 1981 |
| publishDateSort | 1981 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 - |
| spelling | Bernt, Helmut Verfasser aut Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung Helmut Bernt ; Christoph Werner* Report-Nummer BMFT-FB-T 81-066 Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1981 123 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 - 81,66 Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Grenzschicht (DE-588)4022005-9 gnd rswk-swf Siliciumoxide (DE-588)4181398-4 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Grenzflächenpotenzial (DE-588)4218725-4 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 s Siliciumoxide (DE-588)4181398-4 s Grenzschicht (DE-588)4022005-9 s Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 s DE-604 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Grenzflächenpotenzial (DE-588)4218725-4 s Werner, Christoph Verfasser aut Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 - Deutschland <Bundesrepublik> 81,66 (DE-604)BV000004400 81,66 |
| spellingShingle | Bernt, Helmut Werner, Christoph Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Grenzschicht (DE-588)4022005-9 gnd Siliciumoxide (DE-588)4181398-4 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Grenzflächenpotenzial (DE-588)4218725-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4193812-4 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4022005-9 (DE-588)4181398-4 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4218725-4 |
| title | Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung |
| title_alt | Report-Nummer BMFT-FB-T 81-066 |
| title_auth | Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung |
| title_exact_search | Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung |
| title_full | Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung Helmut Bernt ; Christoph Werner* |
| title_fullStr | Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung Helmut Bernt ; Christoph Werner* |
| title_full_unstemmed | Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung Helmut Bernt ; Christoph Werner* |
| title_short | Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung |
| title_sort | topographie der elektrischen eigenschaften der silizium oxid grenzschicht und deren technologische beeinflussung |
| topic | Elektrische Eigenschaft (DE-588)4193812-4 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Grenzschicht (DE-588)4022005-9 gnd Siliciumoxide (DE-588)4181398-4 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Grenzflächenpotenzial (DE-588)4218725-4 gnd |
| topic_facet | Elektrische Eigenschaft Dünne Schicht Grenzschicht Siliciumoxide Silicium Grenzflächenpotenzial |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT bernthelmut topographiederelektrischeneigenschaftendersiliziumoxidgrenzschichtundderentechnologischebeeinflussung AT wernerchristoph topographiederelektrischeneigenschaftendersiliziumoxidgrenzschichtundderentechnologischebeeinflussung AT bernthelmut reportnummerbmftfbt81066 AT wernerchristoph reportnummerbmftfbt81066 |