Neue photolithographische Verfahren für kleine Strukturen: Direktes Step- und Repeatverfahren auf der Siliziumscheibe (Silicon-Repeater)
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1981
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 -
81,19 |
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