Anwendung der Ionenimplantation bei der Herstellung bipolarer Analogschaltungen in monolithischer Bauweise: = BMFT-FB-T 80-147
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1980
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. 1980,147.
Schlagworte:
Beschreibung:110 S. Ill., graph. Darst.

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