Kristallfehler in hochintegrierten Schaltkreisen aus Siliziumnitrid:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Kernforschungszentrum
1979
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.
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| Beschreibung: | 143 S. Ill., graph. Darst. |
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