Sputtering data:
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Garching bei München
IPP
1993
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Max-Planck-Institut für Plasmaphysik <Garching, München>: IPP-Bericht / 9
82 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Literaturverz. S. 339 - 342 |
| Beschreibung: | 342 S. graph. Darst. |
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