Fortgeschrittene Implantationstechnik:
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , |
---|---|
Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Kernforschungszentrum
1979
|
Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.
1979,37=Elektronik. |
Schlagworte: | |
Beschreibung: | 71 S. Ill., graph. Darst. |
ISSN: | 0340-7608 |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV007515369 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 00000000000000.0 | ||
007 | t | ||
008 | 930421s1979 ad|| |||| 00||| ger d | ||
035 | |a (OCoLC)256328590 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV007515369 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
049 | |a DE-355 |a DE-19 | ||
100 | 1 | |a Kostka, Arno |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Fortgeschrittene Implantationstechnik |c Arno Kostka ; Wilfried Quast* |
264 | 1 | |a Eggenstein-Leopoldshafen |b Kernforschungszentrum |c 1979 | |
300 | |a 71 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |v 1979,37=Elektronik. |x 0340-7608 | |
650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Halbleiter |0 (DE-588)4022993-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Planartechnik |0 (DE-588)4174785-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |a Oberflächeninversion |2 gnd |9 rswk-swf | |
689 | 0 | 0 | |a Oberflächeninversion |A f |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
689 | 1 | 0 | |a Planartechnik |0 (DE-588)4174785-9 |D s |
689 | 1 | 1 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
689 | 1 | |5 DE-604 | |
689 | 2 | 0 | |a Halbleiter |0 (DE-588)4022993-2 |D s |
689 | 2 | 1 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
689 | 2 | |8 1\p |5 DE-604 | |
700 | 1 | |a Quast, Wilfried |e Verfasser |4 aut | |
830 | 0 | |a Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |v 1979,37=Elektronik. |w (DE-604)BV000004400 |9 1979,37 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004891086 | ||
883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804121805589315584 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Kostka, Arno Quast, Wilfried |
author_facet | Kostka, Arno Quast, Wilfried |
author_role | aut aut |
author_sort | Kostka, Arno |
author_variant | a k ak w q wq |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV007515369 |
ctrlnum | (OCoLC)256328590 (DE-599)BVBBV007515369 |
format | Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01851nam a2200445 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV007515369</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1979 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)256328590</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007515369</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kostka, Arno</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Fortgeschrittene Implantationstechnik</subfield><subfield code="c">Arno Kostka ; Wilfried Quast*</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Eggenstein-Leopoldshafen</subfield><subfield code="b">Kernforschungszentrum</subfield><subfield code="c">1979</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">71 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.</subfield><subfield code="v">1979,37=Elektronik.</subfield><subfield code="x">0340-7608</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4022993-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Planartechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174785-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Oberflächeninversion</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Oberflächeninversion</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Planartechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174785-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4022993-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Quast, Wilfried</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.</subfield><subfield code="v">1979,37=Elektronik.</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">1979,37</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004891086</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
genre | Oberflächeninversion gnd |
genre_facet | Oberflächeninversion |
id | DE-604.BV007515369 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T17:03:49Z |
institution | BVB |
issn | 0340-7608 |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004891086 |
oclc_num | 256328590 |
open_access_boolean | |
owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-19 DE-BY-UBM |
owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-19 DE-BY-UBM |
physical | 71 S. Ill., graph. Darst. |
publishDate | 1979 |
publishDateSearch | 1979 |
publishDateSort | 1979 |
publisher | Kernforschungszentrum |
record_format | marc |
series | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |
series2 | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |
spelling | Kostka, Arno Verfasser aut Fortgeschrittene Implantationstechnik Arno Kostka ; Wilfried Quast* Eggenstein-Leopoldshafen Kernforschungszentrum 1979 71 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. 1979,37=Elektronik. 0340-7608 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Halbleiter (DE-588)4022993-2 gnd rswk-swf Planartechnik (DE-588)4174785-9 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Oberflächeninversion gnd rswk-swf Oberflächeninversion f DE-604 Planartechnik (DE-588)4174785-9 s Silicium (DE-588)4077445-4 s Halbleiter (DE-588)4022993-2 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s 1\p DE-604 Quast, Wilfried Verfasser aut Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. 1979,37=Elektronik. (DE-604)BV000004400 1979,37 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
spellingShingle | Kostka, Arno Quast, Wilfried Fortgeschrittene Implantationstechnik Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Halbleiter (DE-588)4022993-2 gnd Planartechnik (DE-588)4174785-9 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd |
subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4022993-2 (DE-588)4174785-9 (DE-588)4027606-5 |
title | Fortgeschrittene Implantationstechnik |
title_auth | Fortgeschrittene Implantationstechnik |
title_exact_search | Fortgeschrittene Implantationstechnik |
title_full | Fortgeschrittene Implantationstechnik Arno Kostka ; Wilfried Quast* |
title_fullStr | Fortgeschrittene Implantationstechnik Arno Kostka ; Wilfried Quast* |
title_full_unstemmed | Fortgeschrittene Implantationstechnik Arno Kostka ; Wilfried Quast* |
title_short | Fortgeschrittene Implantationstechnik |
title_sort | fortgeschrittene implantationstechnik |
topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Halbleiter (DE-588)4022993-2 gnd Planartechnik (DE-588)4174785-9 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd |
topic_facet | Silicium Halbleiter Planartechnik Ionenimplantation Oberflächeninversion |
volume_link | (DE-604)BV000004400 |
work_keys_str_mv | AT kostkaarno fortgeschritteneimplantationstechnik AT quastwilfried fortgeschritteneimplantationstechnik |