Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Ulm
AEG-Telefunken, Forschungsinst.
1977
|
| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.
1977,27=Elektronik. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 83 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV007488346 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930421s1977 ad|| |||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)634577517 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV007488346 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-355 | ||
| 100 | 1 | |a Kasper, Erich |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie |c Erich Kasper ; Hans-Joest Herzog* |
| 264 | 1 | |a Ulm |b AEG-Telefunken, Forschungsinst. |c 1977 | |
| 300 | |a 83 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |v 1977,27=Elektronik. | |
| 650 | 0 | 7 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ultrahochvakuumtechnik |0 (DE-588)4186712-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aufdampfen |0 (DE-588)4143379-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schichtwerkstoff |0 (DE-588)4325169-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Mehrschichtsystem |0 (DE-588)4244347-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Ultrahochvakuumtechnik |0 (DE-588)4186712-9 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Aufdampfen |0 (DE-588)4143379-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Schichtwerkstoff |0 (DE-588)4325169-9 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |D s |
| 689 | 1 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Epitaxie |0 (DE-588)4152545-0 |D s |
| 689 | 2 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Herzog, Hans-Joest |e Verfasser |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |v 1977,27=Elektronik. |w (DE-604)BV000004400 |9 1977,27 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004865806 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804121769879011328 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Kasper, Erich Herzog, Hans-Joest |
| author_facet | Kasper, Erich Herzog, Hans-Joest |
| author_role | aut aut |
| author_sort | Kasper, Erich |
| author_variant | e k ek h j h hjh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV007488346 |
| ctrlnum | (OCoLC)634577517 (DE-599)BVBBV007488346 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02195nam a2200505 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV007488346</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930421s1977 ad|| |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)634577517</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV007488346</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kasper, Erich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie</subfield><subfield code="c">Erich Kasper ; Hans-Joest Herzog*</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Ulm</subfield><subfield code="b">AEG-Telefunken, Forschungsinst.</subfield><subfield code="c">1977</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">83 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.</subfield><subfield code="v">1977,27=Elektronik.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ultrahochvakuumtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4186712-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aufdampfen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143379-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schichtwerkstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4325169-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mehrschichtsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4244347-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Ultrahochvakuumtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4186712-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Aufdampfen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4143379-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Schichtwerkstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4325169-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Epitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152545-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Herzog, Hans-Joest</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.</subfield><subfield code="v">1977,27=Elektronik.</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000004400</subfield><subfield code="9">1977,27</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004865806</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV007488346 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:03:15Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004865806 |
| oclc_num | 634577517 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR |
| physical | 83 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1977 |
| publishDateSearch | 1977 |
| publishDateSort | 1977 |
| publisher | AEG-Telefunken, Forschungsinst. |
| record_format | marc |
| series | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |
| series2 | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. |
| spelling | Kasper, Erich Verfasser aut Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie Erich Kasper ; Hans-Joest Herzog* Ulm AEG-Telefunken, Forschungsinst. 1977 83 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. 1977,27=Elektronik. Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Ultrahochvakuumtechnik (DE-588)4186712-9 gnd rswk-swf Aufdampfen (DE-588)4143379-8 gnd rswk-swf Schichtwerkstoff (DE-588)4325169-9 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd rswk-swf Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 s Ultrahochvakuumtechnik (DE-588)4186712-9 s Aufdampfen (DE-588)4143379-8 s Epitaxie (DE-588)4152545-0 s DE-604 Schichtwerkstoff (DE-588)4325169-9 s 1\p DE-604 Silicium (DE-588)4077445-4 s 2\p DE-604 Herzog, Hans-Joest Verfasser aut Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. 1977,27=Elektronik. (DE-604)BV000004400 1977,27 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Kasper, Erich Herzog, Hans-Joest Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung. Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ultrahochvakuumtechnik (DE-588)4186712-9 gnd Aufdampfen (DE-588)4143379-8 gnd Schichtwerkstoff (DE-588)4325169-9 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4152545-0 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4186712-9 (DE-588)4143379-8 (DE-588)4325169-9 (DE-588)4244347-7 |
| title | Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie |
| title_auth | Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie |
| title_exact_search | Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie |
| title_full | Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie Erich Kasper ; Hans-Joest Herzog* |
| title_fullStr | Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie Erich Kasper ; Hans-Joest Herzog* |
| title_full_unstemmed | Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie Erich Kasper ; Hans-Joest Herzog* |
| title_short | Herstellung von Vielschichtstrukturen durch UHV-Aufdampf-Epitaxie |
| title_sort | herstellung von vielschichtstrukturen durch uhv aufdampf epitaxie |
| topic | Epitaxie (DE-588)4152545-0 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Ultrahochvakuumtechnik (DE-588)4186712-9 gnd Aufdampfen (DE-588)4143379-8 gnd Schichtwerkstoff (DE-588)4325169-9 gnd Mehrschichtsystem (DE-588)4244347-7 gnd |
| topic_facet | Epitaxie Silicium Ultrahochvakuumtechnik Aufdampfen Schichtwerkstoff Mehrschichtsystem |
| volume_link | (DE-604)BV000004400 |
| work_keys_str_mv | AT kaspererich herstellungvonvielschichtstrukturendurchuhvaufdampfepitaxie AT herzoghansjoest herstellungvonvielschichtstrukturendurchuhvaufdampfepitaxie |