Verfügbarkeit: The physics of microfabrication

The physics of microfabrication:

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Brodie, Ivor (VerfasserIn), Muray, Julius J. (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	New York (u.a.) Plenum Pr. 1984
Ausgabe:	3. print.
Schlagworte:	Dünnschichttechnik Technik Technologie Lithografie > Halbleitertechnologie Teilchenstrahl Integrierte Schaltung Mikroelektronik Dünne Schicht Mikrosystemtechnik Physik
Beschreibung:	Literaturverz. S. 471 - 489
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